[实用新型]探针以及使用该探针的寻边器

说明书

技术领域

本实用新型与利用探针(probe)检测诸如发光二极管等半导体晶粒性能的点测装置(prober)有关，特别是指一种探针以及使用该探针的寻边器(edge sensor)。

背景技术

点测装置为一种利用探针检测诸如发光二极管(light emitting diode，LED)等半导体晶粒性能表现或特性参数的设备。点测装置通常包含有一寻边器(edge sensor)，如图1及图2所示，习用的寻边器100包含有一座体110、一悬臂120、一连接于座体110与悬臂120之间的弹性片130，以及一设置于悬臂120一端的探针140，悬臂120与座体110之间还设有一可调预力施加器150，以及二分别固设于悬臂120及座体110的导电体160、170，二导电体160、170受预力施加器150施加的预力作用而保持接触并电性导通。

利用一可垂直往复运动的进给机构带动寻边器100下降或利用一可垂直往复运动的承载台带动一待测物上升，探针140可与该待测物接触，一旦探针140对该待测物所施的针压(probing force)使得其反作用力克服该预力时，将造成悬臂120摆动且弹性片130弹性弯曲变形，使得二导电体160、170相互分离而断路，同时，点测装置一旦侦测到二导电体160、170断路的讯号则立即停止前述进给动作。由此，寻边器100可确保探针140能确实接触并施予一定压抵力量于待测物，而且，寻边器100更可避免探针140对该待测物所施的针压过大而造成待测物或探针140损伤。

传统上，探针140的设置方式是先将探针140设置于悬臂120的一可对探针140限位的针座122，再将螺丝180锁紧于针座122，以将探针140固定于针座122。然而，该探针设置方式不但费时，且锁设螺丝180的动作会对悬臂120施加一下压力，使得二导电体160、170相互推抵的力量增加，该动作还可能使二导电体160、170相互磨擦，以及使弹性片130塑性变形。换言之，习用寻边器100的探针装设方式不但较为不便与耗时，且在装设或更换习用寻边器100的探针140时，寻边器100的导电体160、170及弹性片130容易损坏。

请参阅中国台湾专利编号M429100的专利案，该专利提供一种探针针座结构，包含有一概呈N字形的探针，以及一具有可供该探针嵌设的长条形沟槽的针座，虽然该探针针座结构大体上可以解决前述寻边器100的拆卸及安装探针不便的问题，且该探针针座结构应用于寻边器时也可降低在拆卸及安装探针时损坏寻边器其他零件的风险。然而，由于针座所开设的长条形沟槽的形状必须与探针、特别是具有特定弯曲角度的探针尾段形状互补，因此针座沟槽以及与其搭配使用的探针的几何形状和尺寸必须具有较高的加工精度，且探针与针座沟槽公差配合时的裕度(allowance)必须维持在一定的范围，否则，一旦探针与针座沟槽过度干涉配合，容易造成探针安装于针座或自针座上拆卸时的困难，以及造成探针在拆装过程中探针针座与探针容易相互磨损的问题；相反地，一旦探针与针座沟槽过度余隙配合，容易造成嵌卡力量不足而发生探针无法稳固固定的问题。其次，前述沟槽开设于针座时，该沟槽是在该针座的一侧面上形成一个完全开放、没有拘束的开口，一旦装设的探针承受一朝该开口方向的外力时，容易造成探针位置偏移，甚至脱离。换言之，不管是此处所揭示的传统探针固定构造或是前述专利所提供的探针针座，仍有不足之处而有待改进。

发明内容

针对上述问题，本实用新型的目的之一在于提供一种寻边器，其可让使用者快速的拆卸及安装探针。

本实用新型的另一目的于提供一种寻边器，其探针可稳固的安装于针座，且探针安装或拆卸时不易造成探针与针座相互磨损。

本实用新型的再一目的在于提供一种寻边器，其可避免在拆卸及安装探针时造成寻边器的其他零件（例如弹性片）损坏。

为达到上述目的，本实用新型所提供的一种寻边器，其特征在于包含有：一座体；一悬臂件，具有一针座，所述针座具有一定位孔及一卡扣部；一连接件，连接于所述座体与所述悬臂件之间；一探针，具有一长条状身部、一连接于所述长条状身部的一端且向下延伸的针尖部，以及一连接于所述长条状身部的另一端且向上延伸、朝侧向延伸或向下延伸的定位部；所述探针的定位部插置于所述针座的定位孔中，且所述探针的长条状身部为弹性弯曲的卡抵于所述针座的卡扣部。

其中，所述连接件为一弹性片，所述弹性片具有一最大表面，且所述弹性片以其最大表面实质上平行所述悬臂件的长轴方向的方式，连接于所述座体与所述悬臂件之间。