[实用新型]一种用于单晶炉的隔热内衬

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉热场系统技术领域，尤其是指一种用于单晶炉的隔热内衬。 

背景技术

单晶炉热场系统是直拉硅单晶生长设备的核心，热场的优劣对单晶硅的质量有很大的影响，合适的热场参够生长出高质量的单晶，不好的热场容易使单晶变成多晶，或者根本无法引晶，有的热场虽然能够生长单晶，但质量较差，有位错和其它结构缺陷，因此，找到好的热场条件，配置最佳的热场系统，是非常重要的直拉单晶工艺技术。 

目前国内的单晶炉热场所用保温材料基本上都是采用石墨桶和石墨化高纯软炭毡的组合体。目前国内已有部分厂家开始对固化炭毡进行研发，但尚无一家生产出优质优价的产品。从国际上看，目前只有日本、德国、美国等少数发达国家的数家企业能够生产质量较好的固化炭毡，但其均采用“气象沉积法”，采用该方法技术复杂，加工周期长，成本高等缺点，其产品售价高。我国目前所能生产的聚丙烯腈基炭纤维毡体厚度只能达到12mm，使用大于该厚度的保温材料，则需依靠炭材料的粘接技术方能实现。而且聚丙烯腈基炭纤维材料本身的抗老化功能不强，性能丢失较快。也有一些企业能生产定型炭纤维保温体工件，但是生产的工件尺寸质量不稳定，加工精度不高，外观粗糙。 

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于单晶炉的造价低、成型容易、工期短、强度高的隔热内衬。 

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案为：一种用于单晶炉的隔热内衬，它包括有由柔性石墨卷曲成型的基材，基材的卷曲接触面之间涂覆有粘接剂和填充有耐高温材料构成的粘结层。 

所述的粘结层由粘接剂和耐高温材料混合后再复合在基材的卷曲接触面上。 

本实用新型采用“热涂层法”技术进行生产，选用高性能粘接剂和耐高温材料复合在基材上，再进行卷曲、成型、初切、粘接、固化、炭化、精切、修饰成型。本方案的隔热内衬具有低挥发性、无污染、使用寿命长、成本低、热导系数小、隔热效果好、升降温速度快，热惯性小等优点。 

附图说明

图1为本实用新型隔热内衬的截面示意图。 

附图标记：1-基材、2-粘结层。 

具体实施方式

下面结合所有附图对本实用新型作进一步说明，本实用新型的较佳实施例为：参见附图1，本实施例所述用于单晶炉的隔热内衬包括有由柔性石墨卷曲成型的基材，基材的卷曲接触面之间涂覆有粘接剂和填充有耐高温材料构成的粘结层2粘结层2由粘接剂和耐高温材料混合后再复合在基材1的卷曲接触面上。生产时选用高性能粘接剂和耐高温材料复合在基材上，再进行卷曲、成型、初切、粘接、固化、炭化、精切、修饰成型。本方案的隔热内衬具有低挥发性、无污染、使用寿命长、成本低、热导系数小、隔热效果好、升降温速度快，热惯性小等优点。 

以上所述之实施例只为本实用新型之较佳实施例，并非以此限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型之形状、原理所作的变化，均应涵盖在本实用新型的保护范围内。