[实用新型]用于湿制程的板材表面处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板材表面处理装置，特别涉及一种用于对板材加工的湿制程中的板材表面处理装置。 

背景技术

应用在电路板、玻璃基板或晶元等板材上，利用化学药液对该多个板材进行加工的板材湿制程加工作业，包含利用显影剂在一板材上显示出预设电路的保护层、利用蚀刻液对该板材上未设有保护层的铜箔部位进行蚀刻，使该板材上的铜箔呈现出电路的图样、以及利用清洗液洗净该板材上的蚀刻液等，可使预设的电路形成在板材表面，以利后续元件的装配及电性连接。 

现有技术的用于湿制程的板材表面处理装置如中国台湾公开号为第201103646号的发明专利“基板材料的表面处理装置”所示，该表面处理装置利用喷嘴对基板喷洒处理液以进行表面处理，其中，各喷嘴排列设置于喷射管上，各喷嘴与该基板之间间隔5mm(Millimeter，公厘)～40mm，该处理液和气体在该喷嘴内混合，使该处理液形成微小粒子，同时通过带动该喷嘴左右水平往复移动的方式，将该形成微小粒子的雾状处理液广泛均匀地喷射在该基板上，以在该基板上形成微细化、高密度化的电路图形。 

然而，若只是不断的将处理液喷洒至基板上，则积存在该基板上的旧处理液将会阻碍由各喷嘴喷洒而下的新处理液对该基板进行蚀刻或显影的效果，造成预期在该基板上形成的电路的精密度不易掌握，影响产品品质。 

其次，由于所述现有技术的“基板材料的表面处理装置”设定其喷嘴与基板的距离仅为5mm～40mm，使得每一喷嘴喷洒处理液的范围有限，因此不但需要在每一喷射管上紧密排列设置数量较多的喷嘴，还要配合驱动该喷射管水平往复移动，才能将该雾状处理液均匀的喷洒在该基板上。而喷嘴数量多除了会造成处理液的消耗量大之外，也因为该表面处理装置是装设在一封闭的液槽内进行加工作业，故当各喷嘴同时喷出雾状处理液时，会使该液槽内的气流紊乱， 造成该雾状处理液无法确实的落到基板上，影响加工效果。再者，要驱动该喷射管及各喷嘴水平往复移动，则需要进一步设置马达及驱动元件来带动该喷射管，如此将会有耗费电能的问题。 

再者，也因为喷嘴与基板的距离仅为5mm～40mm，因此将该雾状处理液喷洒于该基板上的压力必须控制得宜，压力太大会对该基板上的电路造成过蚀，压力太小则无法在该基板上形成清晰的电路，故在所述现有技术的“基板材料的表面处理装置”中使用鼓风机作为压力源，不能以可提供高压空气的空气压缩机来作为动力源。 

实用新型内容

鉴于前述现有技术所存在的问题，本实用新型提供一种用于湿制程的板材表面处理装置，希以此设计解决现有技术因喷嘴与待加工的板材的距离过近而造成的各种会影响板材加工后的品质的问题。 

为了达到所述目的，本实用新型所利用的技术手段是使一用于湿制程的板材表面处理装置包括有： 

一储液槽，该储液槽内架设有多根横向间隔排列设置的下输送滚轮，该下输送滚轮用以输送待加工的板材； 

多个液体喷洒装置，该液体喷洒装置横向间隔排列在该储液槽内，且架设在该下输送滚轮的上方，每一液体喷洒装置包括有多个喷嘴，该喷嘴相间隔设置，每一喷嘴的下端形成有一喷出口；以及 

多个液体吸除管，该液体吸除管横向间隔排列在该储液槽内，且分别设在两相邻的液体喷洒装置之间，每一液体吸除管为两端封闭的中空管体，该液体吸除管经由一导气管连接一抽气装置，该液体吸除管的底边形成至少有一吸入口，该液体吸除管底边的吸入口对应并贴近该板材的顶面。 

所述各喷嘴的喷出口与该下输送滚轮上的板材的间隔距离为41mm～150mm。 

所述每一液体喷洒装置可进一步包括有： 

一输液管，该输送液与各喷嘴相连通，该输液管连接一抽水泵，该抽水泵抽取该储液槽内的加工液，将该加工液输送进入该输液管及各喷嘴中；以及 

一输气管，该输气管与各喷嘴相连通，该输气管连接一空气压缩机，该空 气压缩机将高压空气输送进入该输气管及各喷嘴中。 

所述储液槽内可进一步架设多根上输送滚轮，各上输送滚轮横向间隔排列设置且架设于该下输送滚轮的上方，所述液体喷洒装置位于该上输送滚轮的上方，所述液体喷洒装置的喷嘴对应排列在两相邻的上输送滚轮之间，所述液体吸除管对应位于两相邻的上输送滚轮之间。 

所述液体吸除管可架设在该两相邻的上输送滚轮上。 

所述每一液体喷洒装置可进一步包括有一定位板，该定位板上间隔穿设有多个穿孔，该定位板的各穿孔分别套设各喷嘴。 

所述空气压缩机所产生的高压空气可经由一过滤器、一减压阀与一加热器再输送进入该输气管及各喷嘴中。