[实用新型]一种冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及冷却器技术领域，特别是一种用于分子泵的冷却装置。

背景技术

分子泵是一种常用的真空获得设备，其内部成型有腔室，在腔室中安装有高转速电机，工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩，并使之获得定向速度至排气口排出。分子泵腔室中的电机转子在高速旋转的过程中会产生很大的热量，为了保证分子泵的性能，需要对分子泵泵体及腔室进行冷却。现有技术的一般方法是在铝制泵体上直接成型水槽，并向水槽中通入冷却水对分子泵进行冷却。这种冷却方式直接有效，但是由于铝制泵体的化学稳定性较差，冷却水和水槽长时间接触很容易发生化学反应，导致水槽被冷却水腐蚀而发生漏水的情况，严重影响分子泵的使用寿命。

为了防止分子泵被冷却水腐蚀，增加分子泵的使用寿命，现有技术如中国专利CN102374800A公开了一种双层盘管冷却器,包括冷却器筒体,设置在冷却器筒体上的冷却水进口和冷却水出口,在冷却器筒体内装有双层盘管,双层盘管是由一根管道绕制而成的内外层结构,外层结构的外层接口伸出冷却器筒体连接冷却水进口,内层接口伸出冷却器筒体连接冷却水出口。

如果将上述双层盘管结构用作分子泵的冷却装置，可以防止冷却水与分子泵的泵体直接接触，防止漏水情况的发生，确保分子泵的使用寿命。但是双层盘管主要用于放置在筒体内部并通过对流换热对筒体内的流体进行冷却，而分子泵内部腔室的气压变化明显，如果将双层盘管直接安装在分子泵的腔室中，双层盘管很可能无法承受压力的变化而导致破裂，可靠性很低；如果将双层盘管设置在腔室外，为了保证冷却装置的效果，则需要双层盘管与分子泵的泵体紧密贴合，但是，盘管内外层结构的特点使得装配人员在安装过程中很难通过一般工艺将盘管和泵体紧密贴合，装配难度很大。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中的分子泵冷却装置存在可靠性低且装配难度大，而提供了一种可靠性高且容易装配的冷却装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种冷却装置，设置在分子泵的泵体上，用于冷却所述泵体及所述泵体内的腔室；所述冷却装置包括，

冷却管，其两端分别与所述泵体上预置的入口和出口配合，用于通入冷却介质；

所述冷却管盘设于所述泵体内的同一水平面上。

上述冷却装置中，所述冷却管包括内管、外管和连接管，所述连接管用于连接所述内管和所述外管，且所述连接管与所述内管、所述外管的连接接口处的管径相等。

上述冷却装置中，所述内管、所述外管和所述连接管的管径均相等。

上述冷却装置中，所述冷却管在所述泵体上预置的入口和出口位置均设置有管接头。

上述冷却装置中，所述泵体上成型有用于设置所述冷却管的凹槽。

上述冷却装置中，所述凹槽为圆弧槽。

上述冷却装置中，还包括：

盖板，用于将所述冷却管固定在所述凹槽中，所述盖板为圆环形板件，所述泵体和所述盖板的相应位置分别成型有用于固定的螺纹孔。

上述冷却装置中，所述冷却管为铜管。

上述冷却装置中，所述连接管为圆弧形管。

上述冷却装置中，所述连接管的弯曲半径为10mm。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

①本实用新型的冷却装置，设置在分子泵的泵体上，冷却装置包括冷却管，冷却管两端分别与泵体上预置的入口和出口配合，用于通入冷却介质，且冷却管盘设于泵体内的同一水平面上。冷却管设置在分子泵腔室的外部，避免了腔室中气压的变化对冷却管的损害，大幅降低了冷却管发生破裂的几率，提高了冷却装置的可靠性；并且，冷却管盘设于泵体的同一水平面上，这样的设计，可以事先将冷却管成型，在安装时直接放置在分子泵泵体的相应位置，极大地降低了冷却装置的装配难度。

②本实用新型的冷却装置，内管、外管和连接管的管径均相等。这样的设计，冷却介质在冷却管中平稳流动，避免了冷却管内部紊流对冷却管的损伤，提高了冷却装置的使用寿命。

③本实用新型的冷却装置，泵体上成型有用于设置冷却管的凹槽，且凹槽为圆弧槽。这样的设计，冷却管与泵体紧密贴合，冷却管与泵体的接触面积较大，有利于热量的传导，提升了冷却装置的冷却效果。

④本实用新型的冷却装置，冷却管为铜管。与铝制材料相比，铜管的化学稳定性更好，冷却管不会受到冷却介质的腐蚀而发生漏水，提高了冷却装置的使用寿命。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中