[实用新型]用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽有效
| 申请号： | 201220423809.1 | 申请日： | 2012-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN202730243U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张小波;张晓蓓;吴圣杰 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 酸性 蚀刻 循环 设备 母液 收集 | ||
【权利要求书】：
1. 用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽，其特征在于：包括槽体（6）， 所述槽体（6）整体呈方形，槽体（6）下表面设方形的底座（1），槽体（6）上表面设有方形的安装平台，安装平台上安装有槽盖（3），所述槽体（6）的左端面上部位置连接有进液管（2），槽体（6）右端面在上部和下部分别连接有循环管（4）和出液管（7）。
2. 根据权利要求1所述的用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽，其特征在于：所述槽体（6）中间位置还设有与底座（1）平行的站台（5）。
3. 根据权利要求1所述的用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽，其特征在于：所述槽盖（3）上端面在四周边缘处还开有一圈均匀分布的安装通孔（8），与之对应的安装平台上同样设有匹配的螺纹孔。
4. 根据权利要求1所述的用于酸性蚀刻液循环设备的母液收集槽，其特征在于：所述进液管（2）、循环管（4）、出液管（7）出口端均连接有活动接口（9）。
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