[实用新型]一种新型的靶材固定装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及新工艺应用领域，尤其涉及一种新型的靶材固定装置。

背景技术

    伴随真空镀膜技术的发展，近年来手机和电子类产品凭借该项技术的应用使产品的外观装饰效果提升。与真空镀膜产品传统零件相比较，手机及小电子类产品真空镀膜的区域主要集中在产品的正面，在结构设计之初就针对性的将正面区域做了预留，只对正面做一些装饰效果。家电产品塑胶零件结构复杂，产品的正面及侧面要求镀膜成一致，而目前的工艺方式暂不能达到预想的装饰效果。针对此问题，专门开发了一种可用于异形面零件的靶材固定装置，该装置的开发可解决零件各个外观面镀膜不均匀的问题。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题提供一种新型的靶材固定装置，可用于异形面零件的靶材固定，通过该装置固定靶材可实现对异形面零件均匀有效的镀膜处理。

    本实用新型采用的技术方案是这样的：一种新型的靶材固定装置，包括部件B，部件B包括靶材安装板B和靶材B，还包括部件A和部件C，在部件A与部件B之间加入C型连接件1,在部件B与部件C之间加入C型连接件2，通过C型连接件1和C型连接件2将部件A、部件B和部件C连接为一个整体并形成向右倒置的U型装置，其中部件A包括靶材安装板A和靶材A，部件C包括靶材安装板C和靶材C。

    作为优选，部件A与部件B之间为可拆卸连接，部件B与部件C之间为可拆卸连接。

    作为优选，部件A与部件B之间通过螺钉连接，部件B与部件C之间通过螺钉连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：该装置主要适用于家电类电子产品，该装置可解决异形面零件基材正面与异形面镀膜层厚度不均匀的问题。该装置由三个部件通过结构连接件连接固定，组装拆解简单，分离之后的主体装置对普通的平面真空镀膜零件同样适用。

附图说明

图1为该装置爆破图；

图2为该装置整体效果图；

图3为该装置对异形面基材镀膜图；

图中零件、部件编号：螺钉（1）、C型连接件1（2）、C型连接件2（10）、靶材安装板A（3）、靶材安装板B（5）、靶材安装板C（8）、靶材A（4）、靶材B（6）、靶材C（7）、部件A（11）、部件B（12）、部件C（13）、异形基材零件（14）。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

如图1和图2所示，本装置在普通固定靶材固定装置的基础上改善而成，该装置包括部件A（11）、部件B（12）、部件C（13），部件B（12）与普通的靶材装置类似。因为镀膜溅射只要集中在异形基材零件（14）的正面，对零件的侧面镀膜很难实现，在部件B（12）的基础上通过C型连接件1（2）、C型连接件2（10）增加部件A（11）和部件C（13）可实现靶材的异形零件基材(14)侧面的镀膜溅射，保证镀膜层均匀。

当异形基材零件（14）通过真空炉靶材位置时，部件A（11）、部件B（12）、部件C（13）分别从上、中、下三面对异形基材零件（14）进行全方位镀膜处理。如图3所示，形成的U型装置将异形基材零件（14）包裹在靶材溅射区域，实现对零件的整体镀膜溅射。

另外拆卸出部件B（12）后，仍可以单独使用于目前的真空镀膜工艺流程中。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。