[实用新型]整体式多振镜头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种激光扫描用的振镜头，特别是涉及一种整体式多振镜头。

背景技术

激光振镜头是一种激光矢量扫描器件。每个激光振镜头上安装有两个轴线成一定角度的摆动电机，每个摆动电机轴上安装有反射镜，在输出光路上设置有F-θ透镜，输入的激光光束先后经过两个摆动电机上反射镜，再通过F-θ透镜后输出，输出的激光光束能聚焦在其扫描范围内的一个平面上。

激光振镜头的两个摆动电机的通电线圈在磁场中产生力矩，其转子上通过机械扭簧或电子的方法加有复位力矩，复位力矩的大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，当线圈通以一定的电流而转子发生偏转到一定的角度时，电磁力矩与回复力矩大小相等，故摆动电机不像普通电机一样旋转，只能偏转，偏转角与电流成正比，其速度快，精度高，在工业生产的激光刻蚀机、激光切割机等多种设备上得到了应用。

在摆动电机最大偏转角一定的情况下，激光振镜头的扫描范围随着F-θ透镜的焦距增大而增大，但是，随着过F-θ透镜的焦距增大，激光振镜头的精度也会降低，焦点光斑的直径也变大，所以，对于要求精度要求高、刻蚀线宽要求精细的激光刻蚀机来说，长焦距的F-θ透镜满足不了要求，人们只能采用短焦距的F-θ透镜，但短焦距的F-θ透镜一扫描范围小、速度低。为此，人们采用多个短焦距的F-θ透镜激光振镜头拼接在一起来满足其高精度、线宽精细、高速度的要求。

专利申请号为201220003814.7的多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台和F-θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，其特征在于：激光发生器、二维振镜头和F-θ透镜组各有多件，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装。多振镜头激光刻蚀机多套组合同时工作，每次加工幅面是单套组合的多倍，加工速度快，工作效率高，同样大小的工件拼接的次数少。

虽然专利申请号为201220003814.7的多振镜头激光刻蚀机采用多个振镜头后加工速度快，工作效率高，加工精度高，但是，其多个振镜头是由连接板通过螺钉将每个振镜头的固定架连接起来的而组成的，多个振镜头之间的连接刚性差，在组装过程中，每个振镜头的位置精度很难达到理想状态，安装调试困难，维修拆卸后再安装很难达原来精度状态。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种整体式多振镜头，此整体式多振镜头的连接刚性好，多个振镜头中的每个振镜头位置精度高，维修拆卸后再安装能保持原有精度。

为了达到上述目的，本实用新型的整体式多振镜头，包括多个二维振镜头和F-θ透镜，多个二维振镜头成排排列，每个二维振镜头由两个摆动电机和安装架组成，两个轴线成一定角度的摆动电机，每个摆动电机轴上安装有反射镜，F-θ透镜在安装架下方，安装架上还开有入光孔和出光孔，其特征在于：多个二维振镜头的安装架为一整体结构。

因为多个二维振镜头的安装架为一整体结构，所以各个二维振镜头之间的连接刚性好，在加工时保证了其精度后，在组装过程中，每个振镜头的位置精度容易保证，在维修拆卸、再安装后能恢复到原有精度状态。

所述的整体式多振镜头，其特征在于：每个二维振镜头的入光孔位于两排二维振镜头之间，入光孔前设置有全反镜，全反镜反射面与入光孔的轴线成45度角。因为二维振镜头的两个摆动电机成一定角度安装在安装架上，其中有一个摆动电机的位于安装架上入光孔的另一方向，摆动电机会伸出安装架外，使二维振镜头入光孔端面到出光孔中心的尺寸小于伸出的摆动电机尾部到出光孔中心的尺寸，当二维振镜头的入光孔位于两排二维振镜头之间时，能使两排二维振镜头之间的间距更小，能使用比较短焦距的F-θ透镜，二维振镜头的加工精度高。

本实用新型的整体式多振镜头的连接刚性好，多个振镜头中的每个振镜头位置精度高，维修拆卸后再安装能保持原有精度。

附图说明

图1是二维振镜头的工作原理示意图。

图2是本实用新型实施例的结构示意图。

图3是四个二维振镜头成一排布置的结构示意图。

图4是八个二维振镜头成两排、入光孔位于两排二维振镜头之间布置的结构示意图。

具体实施方式

图1标记的说明：摆动电机1，反射镜2，F-θ透镜3。