[实用新型]电子级磷酸的生产装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用黄磷直接制取磷酸的装置。 

背景技术

电子级磷酸广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，还可用于制备高纯磷酸盐,也是高纯有机磷产品的主要原料，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响。由于电子级磷酸中要求金属含量极少，而磷酸的分离难度较大，通常以高纯黄磷、三氯氧磷为原料或初步提纯的工业级磷酸来制备电子级磷酸。 

目前已知的电子级磷酸的制备方法有高纯磷法、三氯氧磷法以及工业提纯法。 

高纯磷法是将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，然后与净化后的空气或氧反应生成五氧化二磷，再用超纯水吸收生成高纯磷酸；三氯氧磷法是将工业黄磷制成液态三氯氧磷，再将三氯氧磷精馏提纯，精制后的三氯氧磷与超纯水反应生成磷酸和氯化氢，蒸馏除去氯化氢可制得高纯磷酸，将磷酸调节到所需浓度后，再用微孔滤膜过滤除去微细固体尘埃，即可得到电子级磷酸。上述两种生产方法所用的设备结构复杂，能耗高，故生产成本高，而且对设备腐蚀严重，因燃烧量大不易于操作控制，不能有效地保证电子级磷酸的产品质量。 

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、能耗低、耐腐蚀、能有效地保证产品质量的电子级磷酸的生产装置。 

本实用新型的目的是这样实现的：该装置由加压泵、真空泵、真空喷射泵、燃烧炉、坩埚、气体过滤器、微孔过滤器、吸收槽、成品槽组成，加压泵连接气体过滤器，气体过滤器连接位于燃烧炉内的坩埚，燃烧炉通过真空喷射泵喷射头连接吸收槽，吸收槽与真空喷射泵连接，吸收槽的另一端通过真空泵连接微孔过滤器，微孔过滤器连接成品槽。 

由于本实用新型采用上述结构，该装置结构简单、耐腐蚀、能耗低、产量高，同时不受环境影响，易于操作控制，能有效地保证电子级磷酸的产品质量。 

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构图。

图中1加压泵、2气体过滤器、3坩埚、4燃烧炉、5真空喷射泵喷射头、6真空喷射泵、7吸收槽、8真空泵、9微孔过滤器、10成品槽。 

具体实施方式

实施例：该装置由加压泵1、真空泵8、真空喷射泵6、燃烧炉4、坩埚3、气体过滤器2、微孔过滤器9、吸收槽7、成品槽10组成，加压泵1连接气体过滤器2，气体过滤器2连接位于燃烧炉4内的坩埚3，燃烧炉4通过真空喷射泵喷射头5连接吸收槽7，吸收槽7与真空喷射泵6连接，吸收槽7的另一端通过真空泵8连接微孔过滤器9，微孔过滤器9连接成品槽10。