[实用新型]用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷有效
申请号: | 201220429499.4 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN202860943U | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 何军舫;王军勇 | 申请(专利权)人: | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
主分类号: | B08B9/087 | 分类号: | B08B9/087 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 101101 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 去除 氮化 硼细颈 蒸发 坩埚 石墨 模具 | ||
1.用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,包括钢刷轴,钢刷轴上套设有以钢刷轴为中心轴旋转的钢刷套,其特征在于,所述钢刷套的外壁具有刷齿,所述钢刷轴的端部具有至少两个固定凸起或固定凹槽。
2.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,其特征在于,所述钢刷套上具有用于与驱动齿轮啮合的传动齿。
3.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,其特征在于,所述固定凸起呈圆锥形或棱锥形。
4.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,其特征在于,所述钢刷套与钢刷轴之间设有轴承。
5.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,其特征在于,所述固定凸起或固定凹槽为三个,呈品字形分布。
6.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷,其特征在于,所述刷齿为钢丝构成。
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