[实用新型]一种铸锭单晶硅的坩埚护板有效
申请号: | 201220430664.8 | 申请日: | 2012-08-28 |
公开(公告)号: | CN202730295U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 罗大伟;林洪峰;张凤鸣;王临水;路忠林 | 申请(专利权)人: | 天威新能源控股有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 梁田 |
地址: | 610000 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铸锭 单晶硅 坩埚 | ||
1.一种铸锭单晶硅的坩埚护板,包括侧板(3)和底板(4),侧板为四块尺寸相同的长方形薄板,底板为正方形薄板,构成侧板的每块长方形薄板的底边长度与底板的边长相等,其特征在于:所述侧板(3)分上下两部分,上半部分(31)由石墨制成,下半部分(32)由绝热材料制成。
2.如权利要求1所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述侧板(3)的上半部分(31)和下半部分(32)的厚度相同。
3.如权利要求1所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述侧板(3)的下半部分(32)由氧化锌、氧化锆或者碳化硅制成。
4.如权利要求1所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述侧板(3)的下半部分(32)的高度与铸锭的高度相同。
5.如权利要求1所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述侧板(3)的上半部分(31)和下半部分(32)的高度比为1:1。
6.如权利要求1所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述底板(4)包括环状边缘部分(41)和中间部分(42),环状边缘部分(41)为石墨制成,中间部分(42)由导热系数高于石墨的材料制成。
7.如权利要求6所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述底板(4)的中间部分(42)由金属钨或者钼制成。
8.如权利要求6所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述底板(4)的环状边缘部分(41)和中间部分(42)的厚度相同。
9.如权利要求6-8任意一项所述铸锭单晶硅的坩埚护板,其特征在于:所述底板(4)的中间部分(42)的形状和面积能够包覆铸锭的横截面。
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