[实用新型]一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板

权利要求书

1.一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，包括贴附在石英坩埚（1）底部的石墨底板（3），其特征在于：所述石墨底板（3）内镶嵌有若干均匀分布的冷源块（4），所述冷源块（4）为点冷源块或/和棱冷源块。

2.根据权利要求1所述的一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，其特征在于：所述冷源块（4）的厚度与石墨底板（3）的厚度相等，且冷源块的两端面分别与石墨底板的上端面和下端面齐平，上端面为石墨底板（3）靠近石英坩埚（1）的一面，下端面为与上端面对称的面。

3.根据权利要求1所述的一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，其特征在于：所述冷源块（4）的一端面与石墨底板（3）的上端面齐平，上端面为石墨底板（3）靠近石英坩埚（1）的一面。

4.根据权利要求1所述的一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，其特征在于：所述冷源块（4）的一端面高于石墨底板（3）的上端面，上端面为石墨底板（3）靠近石英坩埚（1）的一面。

5.根据权利要求1所述的一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，其特征在于：冷源块（4）为柱状形的点冷源块时，其横切面呈圆形或多边形。

6.根据权利要求1所述的一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，其特征在于：冷源块（4）为棱冷源块时，其俯视方向的投影与纵横交叉连接的网格结构的俯视方向投影一致。

7.根据权利要求1所述的一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，其特征在于：冷源块（4）为棱冷源块时，其俯视方向的投影与小圆外套大圆的俯视方向投影一致。

8.根据权利要求1所述的一种制备大晶粒铸造多晶硅的新型石墨底板，其特征在于：冷源块（4）为棱冷源块时，其俯视方向的投影与小矩形外套大矩形的俯视方向投影一致。