[实用新型]一种防尘真空等离子腔室有效
| 申请号： | 201220433533.5 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN202839529U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 施露;邱勇;黄秀颀;林立;魏博 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张杰 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防尘 真空 等离子 | ||
【权利要求书】：
1.一种防尘真空等离子腔室，其包括上腔室（1）和下腔室（2），所述上腔室（1）和所述下腔室（2）之间通过设置于所述下腔室（2）上端面的密封槽（21）内的密封圈（3）实现密封连接，其特征在于：
所述下腔室（2）的上端面上具有防尘凸起（22），所述防尘凸起（22）相对所述密封圈（3）接近腔室内壁设置。
2.根据权利要求1所述的防尘真空等离子腔室，其特征在于：
所述防尘凸起（22）在靠近所述密封圈（3）的一侧成型有吸尘凹槽。
3.根据权利要求1或2所述的防尘真空等离子腔室，其特征在于：
所述防尘凸起（22）与所述下腔室（2）一体成型。
4.根据权利要求1或2所述的防尘真空等离子腔室，其特征在于：
所述防尘凸起（22）在靠近所述密封圈（3）的一侧涂覆粗糙度Ra大于50微米的铝制磨砂涂层，其靠近腔室的一侧涂覆Al2O3或Y2O3绝缘涂层。
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