[实用新型]一种手动加载晶圆载台的结构

权利要求书

1.一种手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：包括夹子（1）及晶圆载台（3），其中晶圆载台（3）的外表面沿周向均布有多个夹取槽 （2），所述夹子（1）包括提手（11）、连杆（12）、固定板（13）及夹爪（14），连杆（12）的一端设有提手（11），另一端与固定板（13）连接，所述固定板（13）上安装有多个夹爪（14），该夹爪（14）的一端与固定板（13）相连，另一端向夹子（1）的中心轴线方向弯折、形成爪前端（141），该爪前端（141）插入所述夹取槽（2）内，通过夹子（1）取放晶圆载台（3）。

2.按权利要求1所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：所述爪前端（141）端部的夹取处为圆滑过渡，夹爪（14）的弯折处距夹子（1）中心轴线之间的距离大于所述晶圆载台（3）的半径，爪前端（141）端部距夹子（1）中心轴线之间的距离小于所述晶圆载台（3）的半径。

3.按权利要求1所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：所述夹爪（14）为“L”形，“L”形的一边端部固接在固定板（13）上，另一边的端部即为向夹子（1）的中心轴线方向弯折、形成爪前端（141），所述爪前端（141）与“L”形的一边相平行。

4.按权利要求1所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：所述连杆（12）安装在固定板（13）的中间，固定板（13）由其中间沿径向向外延伸，固定板（13）延伸部的数量与夹爪（14）的数量相等，每个延伸部的端部均固接一个夹爪（14）。

5.按权利要求4所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：两相邻夹爪（14）之间的夹角相等。

6.按权利要求1所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：所述夹取槽（2）包括在晶圆载台（3）上表面边缘开设的第一缺口（21）、以及在晶圆载台（3）外表面沿径向向内开设的第二缺口（22），所述第二缺口（22）位于第一缺口（21）的下方、并与第一缺口（21）连通，第二缺口（22）的一侧表面与第一缺口（21）的同侧表面共面。

7.按权利要求6所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：所述第一缺口（21）为半圆形或矩形，其大小大于爪前端（141）。

8.按权利要求6所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：所述第二缺口（22）为矩形，其宽度大于所述爪前端（141）宽度的二倍，第二缺口（22）的高度和向内的深度可容置下爪前端（141）。 

9.按权利要求6或8所述手动加载晶圆载台的结构，其特征在于：所述第二缺口（22）的上表面设有凹槽（221），该凹槽（221）的宽度可容置下所述爪前端（141）。