[实用新型]用于打印多层图案的方法及设备

权利要求书

1.一种用于在衬底上打印多层图案的设备，包括： 

第一打印站，用于将第一图案化层打印在衬底上； 

第一装置，用于将所述第一图案化层与衬底的区域对准； 

至少一个第二打印站，用于将第二图案化层打印在所述第一图案化层上； 

至少一个控制装置，用于在打印所述第二图案化层之后检验所述对准的精确性，并用于将从精确性检验而获得的数据反馈至所述至少一个装置以用于对准，其中所述控制装置还包括： 

检测组件，用于在打印所述第二层之前获取所述第一图案化层的第一光学影像，以及在所述第一图案化层上打印的所述第二图案化层的第二光学影像；以及 

控制单元，用于通过所述第二光学影像与所述第一光学影像之间的影像消除来执行影像计算，以确定所述第二图案化打印层在所述衬底上的实际位置，其中，所述控制单元还用于将所述影像计算的结果反馈至品质控制站。 

2.根据权利要求1所述的设备，还包括： 

第三打印站，并且 

所述控制单元还包括： 

第一控制站，其连接至所述第一打印站以及所述第二打印站，以及 

第二控制站，其连接至所述第二打印站以及所述第三打印站。 

3.根据权利要求2所述的设备，其中： 

所述控制单元还包括第三控制站，其连接至所述第三打印站以及所述品质控制站。 

4.根据权利要求2所述的设备，还包括对准装置，所述对准装置包括： 

第一对准装置，其布置在所述第一打印站与所述第二控制站之间；以 及 

第二对准装置，其布置在所述第二控制站与所述第三打印站之间。 

5.根据权利要求1所述的设备，其中： 

所述第一控制站以及所述第二控制站分别包括检测装置，其用于获取光学影像数据，并且将所述光学影像数据的至少一部分传送至所述控制单元。