[实用新型]蓝宝石炉籽晶旋转称重机构有效
申请号: | 201220440390.0 | 申请日: | 2012-08-31 |
公开(公告)号: | CN202786514U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 连吉;周凯平 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/28 |
代理公司: | 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 | 代理人: | 伍贤喆 |
地址: | 753001 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 籽晶 旋转 称重 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石炉领域,尤其涉及一种籽晶旋转称重机构。
背景技术
蓝宝石炉是专为生长光学晶体蓝宝石而设计的生长炉,该系统使用重量法控制晶体的生长直径,其技术规格满足大部分使用微提拉法生长的蓝宝石晶体,籽晶杆的旋转称重系统直接影响了晶体的直径和形状大小。原有的称重系统是通过机械的杠杆原理来实现称重的,零件复杂,易受干扰且精度不高,对称重系统的影响较大。如何保证旋转机构旋转时对称重传感器不会产生较大的冲击力,解决系统准确性差、灵敏度不高、可靠性不良等缺陷,对于晶体生长控制有着极其重要的作用。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石炉籽晶旋转称重机构,通过轴抱紧块联动同步旋转籽晶杆和磁流体密封件,由推力球轴承保持称重传感器在旋转系统中的稳定性,结构简单,稳定性和精度可靠性高。
本实用新型是这样实现的:一种蓝宝石炉籽晶旋转称重机构,包括籽晶杆、推力球轴承、法兰、称重传感器、磁流体密封件和支撑套,所述籽晶杆穿过法兰的中心,籽晶杆与法兰之间通过推力球轴承相连;所述磁流体密封件套住在籽晶杆外,籽晶杆与磁流体密封件之间通过轴抱紧块联动,使籽晶杆与磁流体密封件之间只具有轴向滑动自由度;所述称重传感器顶部与法兰的底面固定相连,称重传感器的底部固定在磁流体密封件的顶面上,所述支撑套固定套装在磁流体密封件外。
所述的称重传感器共有三个,三个称重传感器以籽晶杆的轴心为中心环形阵列。
所述的称重传感器通过内六角螺栓分别与法兰和磁流体密封件固定相连。
所述支撑套与磁流体密封件之间通过螺栓固定相连。
本实用新型蓝宝石炉籽晶旋转称重机构中磁流体密封件用螺栓固定于支撑套内,籽晶杆和磁流体密封件之间由轴抱紧块联动同步旋转,通过推力球轴承保持称重传感器在旋转系统中的稳定性,称重籽晶杆上需要测量的压力大小通过三个称重传感器压力总合来实现,结构简单,稳定性和精度可靠性高。
附图说明
图1为本实用新型蓝宝石炉籽晶旋转称重机构结构示意图;
图2为本实用新型蓝宝石炉籽晶旋转称重机构截面示意图。
图中:1籽晶杆、2推力球轴承、3内六角螺栓、4法兰、5称重传感器、6轴抱紧块、7螺栓、8磁流体密封件、9支撑套。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型表述的内容之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
如图1、2所示,一种蓝宝石炉籽晶旋转称重机构,包括籽晶杆1、推力球轴承2、法兰4、称重传感器5、磁流体密封件8和支撑套9,所述籽晶杆1穿过法兰4的中心,籽晶杆1与法兰4之间通过推力球轴承2相连;所述磁流体密封件8套住在籽晶杆1外,籽晶杆1与磁流体密封件8之间通过轴抱紧块6联动,使籽晶杆1与磁流体密封件8之间只具有轴向滑动自由度;所述称重传感器5顶部与法兰4的底面固定相连,称重传感器5的底部固定在磁流体密封件8的顶面上,所述支撑套9固定套装在磁流体密封件8外。
在本实用新型中,所述的称重传感器5共有三个,三个称重传感器5以籽晶杆1的轴心为中心环形阵列,籽晶杆1上需要测量的压力大小通过三个称重传感器5压力总合来实现,,籽晶杆1与磁流体密封件8通过轴抱紧块6联动旋转。
本实施例中,所述的称重传感器5通过内六角螺栓3分别与法兰4和磁流体密封件8固定相连;所述支撑套9与磁流体密封件8之间通过螺栓7固定相连。
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