[实用新型]圆片固定装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种圆片制具，特别是有关于可方便定位或缷离圆片环的一种圆片固定装置。 

背景技术

按公知集成电路的生产，是将圆片经黄光、长晶、蚀刻、机械研磨等流程所形成。而圆片在尚未切割之前的种种流程皆需将圆片固定于一圆片环上，再将圆片环连同固定其上的圆片完成上述流程。 

由于圆片环必需于一段工序的开始将圆片环放置于承载座，又于该段工序完成后取下圆片环。而如何能让圆片环置入承载座后，仍能方便且快速的准确定位，又能在圆片环取离承载座时可方便取离，一直为业界所研究的方向，例如中国台湾专利公开第201133695号，由其摘要揭示有「本发明提出一种圆片环的承载固定装置，其包含一框体以及复数个固定单元；该些固定单元设置于该框体一面，且每一固定单元包含一枢轴、一枢转臂以及一限位部；枢转臂由该枢轴枢接于框体，并与该框体互相磁性吸附；其中，置于框体的一圆片环可由枢转臂吸合于框体，致使限位部压制圆片环而承载固定该圆片环。」，公知前案运用的技术，是于框体上设有复数定位辅件以及复数固定位单元，提供圆片环可方便上下框体，但公知前案的结构仍存有诸多缺失与不便，例如： 

1、框体上沿圆片环圆周设有复数定位辅件，且定位辅件与框体平面具有一高度，使得圆片环欲置放于框体时，只能垂直的放置于复数定位辅件所围设的空间，造成使用者放置圆片环的困扰与麻烦。 

2、复数固定单元，相同沿圆片环圆周设置，故取离或放置圆片环时，用户需逐一释放固定单元的压制部才能达成，但逐一释放固定单元的动作显然十分费时，造成使用者操作上相当的麻烦与不便。 

3、固定单元的压制部，是利用单一锁固组件配合限位部锁合于枢转 臂，以延伸压制部压抵圆片环。如此容易产生三大问题，其一锁固组件以紧迫方式锁合限位部，而此一限位部又会因锁固组件螺锁的扭转力，而产生偏摆，造成压制部亦随的偏移，导致压制定位的偏移。其二容易因锁固组件的松脱，而造成限位部的位移，进而导致压制部的偏移。其三，碍于锁固组件紧迫力有限，压制部容易受外力的撞击而发生偏移。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种圆片固定装置，以改进公知技术中存在的缺陷。 

为实现上述目的，本实用新型提供的圆片固定装置，其包含： 

一承载座； 

复数固定组，设置于该承载座，以界定出一具开放端的容置空间，且该开放端口径需大于或等于一圆片环外径，其中各该固定组，包含一固定件及设于该固定件上的一固定压片； 

由该开放端提供该圆片环可侧向契入该容置空间，使该圆片环靠抵各该固定件限位，再配合各该固定压片以压扣该圆片环定位。 

本实用新型提供的圆片固定装置，还包含： 

一承载座； 

复数固定组，设置于该承载座，各该固定组，包含一固定件及设于该固定件上的一固定压片； 

一靠抵组，配合各该固定组以界定出一具开放端的容置空间，且该开放端口径需大于或等于一圆片环外径，其中该靠抵组包括有一弧形靠边及设于该弧形靠边上至少一靠抵压片； 

由该开放端提供该圆片环可侧向契入该容置空间，使该圆片环靠抵该弧形靠边及该固定件，再配合各该靠抵压片及固定压片，以压扣该圆片环定位。 

所述的圆片固定装置，其中，该弧形靠边设有至少一第三限位槽，提供该靠抵压片的一端容置。 

所述的圆片固定装置，其中，各该固定组其中之一为一辅助限位块。 

所述的圆片固定装置，其中，该固定件设有至少一第一限位槽，提供 该固定压片的一端容置。 

所述的圆片固定装置，其中，该固定压片相对于该固定件的另一端凸设有一凸出的压点，由该凸出的压点以增加该固定压片的预压力。 

所述的圆片固定装置，其中，设有一调节组，该调节组设置于该承载座，包含一枢轴枢接至少一枢轴座及一枢轴臂，且该枢轴臂上设有一枢轴压片，由该枢轴臂靠抵圆片环限位，再配合该枢轴压片以压扣该圆片环定位。 

所述的圆片固定装置，其中，该枢轴臂设有一磁性组件，由该磁性组件使该枢轴臂可磁吸于该承载座。 

所述的圆片固定装置，其中，该枢轴臂设有至少一第二限位槽，提供该枢轴压片的一端容置。 

所述的圆片固定装置，其中，该调节组包含有一扭力组件及一卡阻件，该扭力组件设置于该枢轴，使该扭力组件一端推顶该枢轴臂，另端则推顶该承载座，而该卡阻件设置于该承载座，使该卡阻件的一卡阻端位于该枢轴臂翻转的行径上。