[实用新型]一种线切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种线切割机。 

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。 

现有技术中，线切割机的主轴安装位置不合理，常因钢线张力、高负荷运行而引起的轴移位，生产良率不高。 

发明内容

本实用新型提出一种线切割机，解决了现有技术中主轴安装位置不合理，常因钢线张力、高负荷运行而引起的轴移位，生产良率不高的问题。 

本实用新型的技术方案是这样实现的： 

本实用新型公开了一种线切割机，包括壳体、多个主轴、控制单元，所述的主轴设置于壳体中，控制单元连接所述的主轴，安装于壳体内的支架，所述的多个主轴安装于支架上，呈三角形分布。

进一步地，所述的线切割机包括油冷机，所述的油冷机为所述的主轴提供冷却油。 

进一步地，所述的线切割机包括空气密封管，用于给所述的多个主轴提供气流。 

进一步地，所述的控制单元包括抱闸伺服电机。 

进一步地，所述的控制单元包括触摸屏。 

实施本实用新型的一种线切割机，具有以下有益的技术效果： 

多个主轴安装于支架上，呈三角形分布，主轴安装位置较为稳定，不易产生移位。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1是本实用新型一种线切割机构造示意图。 

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 

请参阅图1，本实用新型的实施例，一种线切割机，包括壳体10、多个主轴20、控制单元30，主轴20设置于壳体10中，控制单元30连接主轴20，安装于壳体10内的支架40，多个主轴20安装于支架40上，呈三角形分布。 

线切割机包括油冷机，所述的油冷机为所述的主轴提供冷却油。 

线切割机包括空气密封管，用于给所述的多个主轴提供气流。 

控制单元包括抱闸伺服电机。 

控制单元包括触摸屏。 

本机器具有高产量，高稳定性的高科技“硅晶体加工设备”。是借助连续快速移动的钢丝线，在上面喷洒大量特定配制的研磨浆液，对工件进行高效的多线切割加工。加工对象为硬的、脆性的材料。如压电水晶、石英玻璃、单晶硅、多晶硅、磁性材料、陶瓷、宝石等特硬、特脆的材料切割分解成片状，切割精度高，节省原材料、提高工作效率，减少了下道研磨工序的工作量。 

本机器的主要功能部件包括切割系统、线管理系统、温控系统、供浆系统、工作台升降系统、张力控制系统、供气系统、电控系统、操作系统及机器防护系统。 

1:切割系统:由伺服电机传动轴、收线轮轴、放线轮轴、罗拉、转角轮、组合轮、钢丝线、砂浆泵、砂浆喷头、料板、垂直进给滑台、气密封系统、油水冷却泵、断线报警器装置构成。 

2:线管理系统:由收放线机构、排线机构、张力控制机构组成。 

3:温控系统:本机装有冷却水机和冷却油机，水循环泵、油循环泵、水和油冷却机分体组装，水油系统由温度传感器、电磁阀、压力表、减压阀、测量计、流量调节阀及管路构成。 

4:供浆系统:由砂浆箱、热交换器、流量计、砂浆泵、砂浆喷管及喷头、回浆过滤网组成。本机器在切割过程中可对砂浆温度和流量进行精确的自动控制，温度控制精度可达±0.5°C。 

5：工作台升降系统:由步进电机及驱动器、滚珠丝杠、直线导轨、减速器、垂直升降滑台组成。