[实用新型]一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵

权利要求书

1.一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，其特征是包括下泵体（1）、依次压叠在下泵体（1）上的基片（6）和上泵体（9），所述基片（6）上侧镀有正磁致伸缩效应的薄膜（8），下侧镀有逆磁致伸缩效应的薄膜（12）；基片（6）的底面与下泵体构成泵腔体（4）和阀腔体（11），泵腔体（4）与阀腔体（11）通过通孔连通；所述泵腔体连接有进液管道（3），所述阀腔体连接有出液管道（13），进液管道（3）与泵腔体（4）连通处设有进液阀膜（2），进液阀膜（2）通过一端粘接在泵腔体内壁上形成悬臂梁阀结构；所述阀腔体（11）与泵腔体（4）连通处设有出液阀膜（10），出液阀膜（10）通过一端粘接在阀腔体内壁上形成悬臂梁阀结构；所述泵体外设有线圈架（5），线圈架（5）上饶有驱动线圈（7）。

2.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，其特征在于：所述正磁致伸缩效应薄膜（8）由TbDyFe合金制成，所述逆磁致伸缩效应薄膜（12）由SmFe合金制成；所述正磁致伸缩效应薄膜（8）和逆磁致伸缩效应薄膜（12）均由为两片，分别镀在沿泵腔体轴向的基片左右两侧。

3.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，其特征在于：所述基片（6）由具有高张力的材质硅薄片制成。

4.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，其特征在于：所述进液阀膜和出液阀膜由具有弹性、韧性、耐腐蚀的橡胶、塑胶或硅薄膜制成。