[实用新型]真空加热器的端头连接结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种平面磁控溅射镀膜设备，尤其涉及一种真空加热器的端头连接结构。

背景技术

现有技术中的真空镀膜设备通常使用的加热器分为两种，一种是用多层“Ｏ”圈加垫片的方法，以螺母压紧的方式固定加热器，通过挤压“Ｏ”圈来实现密封效果，但是这种加热器安装操作繁琐，且“Ｏ”圈在挤压过程中易变形，此外，若漏装“Ｏ”圈还会导致漏气。另一种常用的加热器，其端头是法兰结构，通过法兰连接固定加热器这种加热器主要是加热丝套管一端与加热丝进行焊接，另一端与法兰进行焊接，采用焊接方式进行熔焊以达到密封目的，但加热丝套管与法兰壁厚相差大，焊接易出现二次补焊而造成有害空间，出现微裂纹或疏松孔而导致漏气。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中的不足，提供一种真空加热器的端头连接结构，目的在于使加热器的安装操作简单，降低漏气率。

为了实现上述目的，本实用新型用的技术方案为：

一种真空加热器的端头连接结构，包括法兰、加热丝套管和加热丝，所述加热丝位于加热丝套管内，所述加热丝套管位于法兰内，所述加热丝套管一端与加热丝焊接，另一端与法兰焊接。所述加热丝套管分为薄壁焊接端和厚壁焊接端，薄壁焊接端与加热丝焊接，厚壁焊接端与法兰焊接。所述法兰为带颈法兰，法兰颈部与法兰盘垂直。

本实用新型的优点在于：加热器端头焊接部分有针对性，厚壁焊接区与薄壁焊接区分开，解决了加热丝套管与法兰之间因壁厚相差大而不易焊接，以及焊接易出现二次补焊而造成有害空间、出现微裂纹或疏松孔而导致漏气的问题，降低了漏气率；焊接工艺简单，焊接部位质量好，生产加热器的成品一次焊接合格率提高，提高生了产效率，降低了生产成本。

附图说明

下面对本实用新型说明书各幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为背景技术的结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型加热丝套管的放大后的结构示意图；

上述图中的标记均为：

1、法兰， 2、加热丝套管， 3、加热丝， 201、加热丝套管薄壁端， 202、加热丝套管厚壁端

具体实施方式

下面对照附图，通过对最优实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

如图2所示，真空加热器的端头连接结构，法兰1、加热丝套管2和加热丝3，加热丝3位于加热丝套管2内，加热丝套管2位于法兰1内，加热丝套管2一端与加热丝3焊接，另一端与法兰1焊接。

如图3所所示，加热丝套管2分为薄壁焊接端201和厚壁焊接

端202，薄壁焊接端201与加热丝3焊接，厚壁焊接端202与法兰1焊接。

上面对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，不论是在其形状或者结构上做任何变化，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。