[实用新型]一种悬浮粒子检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于洁净技术领域，具体涉及一种悬浮粒子检测装置，特别涉及一种应用于气体环境下的悬浮粒子检测装置。

背景技术

在半导体、液晶显示器、太阳能转换装置等精密器件的生产过程中，由于其加工对象往往是微米级甚至是纳米级的精密器件，因此用于制造这些精密器件的工艺设备的洁净程度，特别是工艺设备机台工作面上的悬浮粒子浓度会直接影响这些精密器件的加工品质。

现有技术中一般采用手持式或在线式的激光型粒子计数器实时检测工艺设备所处的工作环境中的悬浮粒子浓度，所述激光型粒子计数器采用空间定点恒速气流采样的工作方式，即将采样空气导入激光计数器中以粒子计数的方式进行悬浮粒子浓度测试，但由于实际生产过程中加工件（精密器件）会频繁取放，使得工艺设备所处的工作环境中的气流变化剧烈，造成气流扰动，当工作环境中的气流发生扰动时，导入激光计数器中的气流变得极不稳定，会导致激光型粒子计数器工作异常、数据失真，因而激光型粒子计数器在气流扰动的状态下无法正常工作；而且现有的激光型粒子计数器受工艺设备结构及设置位置的制约，无法对工艺设备机台内部，特别是机台工作面上的悬浮粒子浓度进行有效检测。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中所存在的上述缺陷，提供一种不受工艺设备结构及设置位置的制约，且能够实时、有效地检测工艺设备内部以及机台工作面上的悬浮粒子浓度情况的悬浮粒子检测装置。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是：

所述悬浮粒子检测装置包括：光源、摄像单元以及检测结果输出单元；所述光源用于向悬浮粒子待测区域发射光线；所述摄像单元用于实时获取待测区域内悬浮粒子的图像，并将所述图像发送给所述检测结果输出单元；所述检测结果输出单元用于根据所述摄像单元发送的图像实时输出悬浮粒子检测结果。

可选地，所述检测装置还包括图像处理单元，其分别与摄像单元和检测结果输出单元相连，用于实时接收摄像单元获取的所述待测区域内悬浮粒子的图像，并将所述图像处理后实时发送给所述检测结果输出单元；所述检测结果输出单元用于根据所述图像处理单元发送的处理后的图像实时输出悬浮粒子检测结果；

其中，所述图像处理单元对图像的处理包括对图像的放大、亮度增强、色彩对比度增强中的至少一种。

可选地，所述图像处理单元对图像进行放大时，放大倍数为10⁴~10⁶倍。

可选地，所述图像处理单元包括光电倍增管。

可选地，所述检测装置还包括吸光单元，所述吸光单元用于吸收光源发射的经过所述悬浮粒子待测区域后的光线。

可选地，所述吸光单元具有表面粗糙漫反射的结构。

可选地，所述吸光单元的材质为黑色碳带。

可选地，所述光源发射的光线为可见光或能够被所述摄像单元采集到的非可见光。

可选地，所述光源所发射光线的波长为532nm±20nm。

可选地，所述光源采用发光体为光电二极管的光源，其功率的调整范围为20w~80w。

可选地，所述光源的功率为20w~80w，所述摄像单元与所述悬浮粒子待测区域之间的距离为100cm~500cm。

可选地，所述悬浮粒子待测区域内的气流速度不超过5m/s时，所述摄像单元的拍摄频率为50Hz~60Hz。

可选地，所述图像处理单元还用于根据接收到的图像进行数据运算并将数据运算结果发送给所述检测结果输出单元；所述检测结果输出单元输出的所述悬浮粒子检测结果为所述图像处理单元发送来的图像和/或所述数据运算结果；

其中，所述数据运算结果包括以下结果中的至少一种：

所接收到的图像中单位面积内大于或等于预设粒径尺寸的悬浮粒子的个数；所接收到的图像中单位面积内不同粒径尺寸范围内的悬浮粒子个数比、或者单位面积内不同粒径尺寸范围内的悬浮粒子个数在随时间变化的曲线图或单位时间变化率。

可选地，所述检测装置还包括警报单元，所述警报单元与所述图像处理单元相连，所述警报单元用于实时接收图像处理单元输出的所述数据运算结果，并将所述数据运算结果与其内预设的预警阈值进行比较，当所述数据运算结果大于或等于所述预警阈值时，发出预警提示。

可选地，所述检测装置包括的各个单元通过箱体集中设置，所述检测结果输出单元的显示屏设置在所述箱体的外表面上；或者，所述检测装置包括的各个单元采用分散式设置方式，所述检测结果输出单元通过无线信号与所述图像处理单元进行通信。

有益效果：