[实用新型]多角石墨舟卡钉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳电池生产的过程中使用的石墨舟。

背景技术

太阳能电池生产工艺流程中，PECVD工艺过程形成减反射膜，膜的作用是既能降低对太阳光的反射，又能对电池有很好的钝化效果。此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温等离子体反应过程，膜直接沉积在硅片表面，卡钉的覆盖面积越大，对膜的质量影响越大。长时间的等离子过程，对卡钉的表面也有腐蚀，从而影响硅片的固定。

传统的PECVD用石墨舟卡钉采用的是圆形的或菱形（有两个角为钝角）的设计，要么对膜的覆盖面积过大，要么使用寿命较短。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构合理，可以减小卡钉对膜的覆盖尺寸、延长卡钉使用寿命的多角石墨舟卡钉。

本实用新型的技术解决方案是：

一种多角石墨舟卡钉，其特征是：包括圆形本体，圆形本体的两侧设置多角形卡钉件，且所述多角形卡钉件的每个角均为锐角，圆形本体为可旋转形式。

相邻两个锐角的连接段为弧形段。

本实用新型结构合理，既可以减小卡钉对膜的覆盖尺寸，提高膜的质量，又可以延长卡钉的使用寿命。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型实施例1的结构示意图。

图2是图1的侧面视图。

图3是实施例2的结构示意图。

图4是图3的侧面视图。

图5是实施例3的结构示意图。

图6是图5的侧面视图。

图7是实施例4的结构示意图。

图8是图7的侧面视图。

具体实施方式

实施例1：

一种多角石墨舟卡钉，包括圆形本1，圆形本体的两侧设置三角形卡钉件2、3，且所述三角形卡钉件的每个角均为锐角，圆形本体为可旋转形式。

实施例2：

卡钉件为四角形，相邻两个锐角的连接段为弧形段。其余同实施例1。

实施例3：

卡钉件为五角形。其余同实施例2。

实施例4：

卡钉件为六角形。其余同实施例2。