[实用新型]光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机有效
申请号: | 201220448218.X | 申请日: | 2012-09-05 |
公开(公告)号: | CN202815411U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 倪国东 | 申请(专利权)人: | 长春荣德光学有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱 |
地址: | 130033 吉林省*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光栅尺 光学 专用 高精度 高效率 曝光 | ||
1.一种光栅尺、光学码盘专用高精度高效率曝光机,其特征在于:该曝光机包括机架(1)、遮光罩(2)、电控箱体(3)、丝杠(4)、柱面体棱镜(5)、高压紫外线汞灯(6)、灯盒(7)、丝杠支撑座(8)、导轨(9)、透光支撑玻璃板(10)和散热风扇(11),所述的遮光罩(2)罩在机架(1)的外面,所述的透光支撑玻璃板(10)水平设置在机架(1)的台面上,在机架(1)上的两根平行导轨(9)设置在透光支撑玻璃板(10)的下方,机架(1)上的丝杠(4)设置在两根平行导轨(9)的中间,丝杠支撑座(8)与丝杠(4)螺纹连接,在丝杠支撑座(8)上设置有两个立柱(12),连接灯盒(7)的高压紫外线汞灯(6)设置在两个立柱(12)之间,柱面体棱镜(5)设置在两个立柱(12)的上面,且在以紫外线汞灯(6)为焦点的位置上,散热风扇(11)设置在高压紫外线汞灯(6)的侧面。
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