[实用新型]反应气体混合装置及包含该装置的等离子体处理设备

权利要求书

1.一种反应气体混合装置，与等离子体处理设备配合使用，所述等离子体处理设备包括反应腔室和气体喷淋头，所述反应气体混合装置用于将第一气体和第二气体混合为所述反应气体，所述反应气体导入所述等离子体处理设备中进行等离子体处理工艺，所述混合装置包括：

第一气体进气口，所述第一气体从所述第一气体进气口通入；

第二气体进气口，所述第二气体从所述第二气体进气口通入；

混合气体出口，所述反应气体通过所述混合气体出口经所述气体喷淋头导入所述反应腔室；

混合气体管道，其一端连接所述第一气体进气口和第二气体进气口，其另一端连接所述混合气体出口，所述混合气体管道包括至少一个第一管道部和至少一个第二管道部，所述第一管道部和第二管道部为所述混合气体管道中相邻接的管道部分；

其特征在于，在所述第一管道部和所述第二管道部之间还接有至少一个弯角管道。

2.如权利要求1所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述弯角管道分别可拆卸地与所述第一管道部、所述第二管道部连接。

3.如权利要求2所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述反应气体混合装置还包括一气体分离器，连接入所述混合气体管道和所述气体喷淋头之间，所述气体分离器将所述反应气体分成多路并通过所述气体喷淋头导入所述反应腔室的不同区域。

4.如权利要求3所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述反应气体混合装置还包括至少一个调节阀，连接入所述混合气体出口和所述气体分离器之间，所述调节阀控制所述反应气体进入所述气体分离器的流量。

5.如权利要求3所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述弯角管道为多个并成对设置，在任一对或任多对相邻的所述弯角管道之间连接有至少一个调节阀，所述调节阀控制所述混合气体管道的通断状态以及所述混合气体管道中所述反应气体的流量。

6.如权利要求1至5中任一项所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述弯角管道的弯角为90度。

7.如权利要求6所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述弯角管道为一体成型。

8.如权利要求7所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述混合气体管道由铝或铝合金制成。

9.如权利要求6所述的反应气体混合装置，其特征在于，所述第一气体为制程气体，所述第二气体为调制气体，配合所述第一气体进行所述等离子体处理工艺。

10.一种等离子体处理设备，至少包括反应腔室、气体喷淋头和如权利要求1至5中任一项所述的反应气体混合装置，所述反应气体混合装置将第一气体和第二气体混合后通过所述气体喷淋头导入所述反应腔室中进行等离子体处理工艺。