[实用新型]一种化学品供应系统

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统。

[背景技术]

随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。并且，由于半导体制程的不断发展,线宽越来越窄,工艺的要求也越来越高,这些因素都对化学品供应系统的无故障运行能力提出了更高的要求。气体、化学和纯水系统为整条芯片生产线提供气体、化学品和纯水,它们与芯片直接接触,所以这些系统被称为制程相关系统，该制程相关系统即为化学品供应系统，其稳定与否直接关系到生产线制造是否正常。而且，该化学品供应系统为生产线提供一年365天无中断的系统，其所供应的化学品不仅要达到一定量(大量的机台使用该化学品或单个机台用量很大),而且还要具有长距离(如100m)输送不易变质的特点，其一般供应到湿法清洗、黄光、CMP、零部件清洗等部门。然而，目前传统的化学品供应系统总是存在安全系数低、运行的稳定性不高等缺陷，给现场人员的安全带来了威胁，且操作起来非常不方便。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统，不仅结构简单、成本低，而且运行稳定、可靠，安全系数高。

为实现上述目的设计一种化学品供应系统，包括供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，所述供应柜部分包括桶槽1、泵2和过滤器3，所述管路部分包括管路4和阀箱5，所述桶槽1、泵2、过滤器3、阀箱5通过管路4相连。

所述化学品供应系统中还设有监控部分，所述监控部分通过PLC连接供应柜部分和管路部分。

所述监控部分包括泄漏侦测器6，所述泄漏侦测器6安装在阀箱5或桶槽1的底部。

所述管路4设置为双套管,所述双套管包括内管和外管，所述内管与外管之间设有空隙。

所述桶槽1顶部安装有安全阀7。

本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，运行稳定、可靠，操作起来也非常方便；且由于在该化学品供应系统中设有监控部分，并在该监控部分中设置了泄漏侦测器，从而可以尽快地发现问题并及时地解决问题,给现场操作人员的生命安全带来了保障，最终最大限度地保证了现场人员的人身安全，其安全系统非常高；此外，本实用新型所述的化学品供应系统成本低，设计合理，方便了芯片清洗等制程，值得推广应用。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1、桶槽  2、泵  3、过滤器  4、管路  5、阀箱  6、泄漏侦测器  7、安全阀。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如附图所示，本实用新型包括：供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，所述供应柜部分包括桶槽1、泵2和过滤器3，所述管路部分包括管路4和阀箱5，所述桶槽1、泵2、过滤器3、阀箱5通过管路4相连，所述化学品供应系统中还设有监控部分，所述监控部分通过PLC连接供应柜部分和管路部分，所述监控部分包括泄漏侦测器6，所述泄漏侦测器6安装在阀箱5或桶槽1的底部。

本实用新型中，所述管路4设置为双套管,所述双套管包括内管和外管，所述内管与外管之间设有空隙，化学品在内管走,如果内管发生泄漏等故障,化学品就会顺着内管与外管之间的空隙流到阀箱或供应柜部分,然后由安装在该处的泄漏侦测器引发警报。通过采用这些措施,可以尽快地发现问题并及时地解决,方便了芯片清洗等制程，且最大限度地保证了人身安全。

本实用新型中，所述桶槽1顶部安装有安全阀7，从而如果压力过大,则自动泄压，安全系数非常高。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。