[实用新型]加热器供电电路

权利要求书

1.一种加热器供电电路，用于等离子体处理设备中加热静电卡盘，所述静电卡盘位于所述等离子体处理设备的反应腔室中，用于固定待加工件，所述等离子体处理设备外接有一射频电源，其包括至少一种频率的电信号，用于向所述反应腔室施加射频功率，所述加热器供电电路包括：

加热器，用于加热所述待加工件；

交流电源，与所述加热器连接并用于向所述加热器供电；及

多个电感器，与所述加热器串接；

其特征在于，每个所述电感器屏蔽特定频率的所述电信号作用于所述加热器供电电路而产生的泄漏电流。

2.如权利要求1所述的加热器供电电路，其特征在于，所述射频电源包括3种频率的电信号，其频率从大到小分别为第一频率、第二频率和第三频率，相应地，所述电感器为6个，分别为第一、第二、第三、第四、第五和第六电感器，所述第一、第四电感器电感值相同，用于屏蔽所述第一频率电信号产生的所述泄漏电流，所述第二、第五电感器电感值相同，用于屏蔽所述第二频率电信号产生的所述泄漏电流，所述第三、第六电感器电感值相同，用于屏蔽所述第三频率电信号产生的所述泄漏电流，所述第一、第四电感器电感值低于所述第二、第五电感器电感值，所述第二、第五电感器电感值低于所述第三、第六电感器电感值。

3.如权利要求2所述的加热器供电电路，其特征在于，所述第一、第二和第三频率分别为60MHZ、13.5MHZ和2MHZ，所述第一、第二、第三、第四、第五和第六电感器的电感值分别为3uH、20uH、300uH、3uH、20uH和300uH。

4.如权利要求2所述的加热器供电电路，其特征在于，所述电感器由导线绕经线圈而制成，所述第一、第四电感器分别由第一导线端、第二导线端至少一次绕过第一线圈而制成，所述第二、第五电感器由所述第一导线端、第二导线端至少一次绕过第二线圈而制成，所述第三、第六电感器由所述第一导线端、第二导线端至少一次绕过第三线圈而制成，所述导线包括所述第一导线端和第二导线端，所述第一导线端为连接所述交流电源一端与所述加热器的导线部分，所述第二导线端为连接所述加热器与所述交流电源另一端的导线部分。

5.如权利要求4所述的加热器供电电路，其特征在于，所述交流电源的两输出端与所述第三线圈的两输入端连接，所述第三线圈的两输出端与所述第二线圈的两输入端连接，所述第二线圈的两输出端与所述第一线圈的两输入端连接，所述第一线圈的两输出端与所述加热器的两端连接。

6.如权利要求5所述的加热器供电电路，其特征在于，所述第一、第二和第三线圈的磁芯分别为铁氧体。

7.如权利要求6所述的加热器供电电路，其特征在于，所述第一导线端至少一次从所述线圈外侧自所述线圈正面越过所述线圈按顺时针方向向其内侧绕过并从其背部穿出，所述第二导线端与所述第一导线端缠绕在一起，以与所述第一导线端相同的路径和匝数绕经所述线圈。

8.如权利要求6所述的加热器供电电路，其特征在于，所述第一导线端至少一次从所述线圈外侧自所述线圈正面越过所述线圈按顺时针方向向其内侧绕过并从其背部穿出，所述第二导线端以相同的匝数从所述线圈外侧自所述线圈正面越过所述线圈按逆时针方向向其内侧绕过并从其背面穿出。

9.如权利要求6所述的加热器供电电路，其特征在于，所述第一导线端至少一次从所述线圈外侧自所述线圈正面越过所述线圈按顺时针方向向其内侧绕过并从其背部穿出，接着先从所述线圈正面、后从所述线圈背面依次越过所述线圈至所述线圈另一位置的背部穿出，接着至少一次从所述线圈外侧自所述线圈正面越过所述线圈按逆时针方向向其内侧绕过并从其背面穿出，所述第二导线端与所述第一导线端缠绕在一起，以与所述第一导线端相同的路径和匝数绕经所述线圈。

10.如权利要求4至9中任一项所述的加热器供电电路，其特征在于，所述第一导线端绕经所述第一、第二和第三线圈的匝数分别为6、12和36次，所述第二导线端绕经所述第一、第二和第三线圈的匝数分别为6、12和36次。