[实用新型]一种NbZr10合金靶板

说明书

技术领域

本实用新型涉及应用于真空镀膜行业中的一种NbZr10合金靶板设备领域。

背景技术

随着溅射技术的日益完善，真空溅射镀膜技术得到了很大的发展，相应的阴极靶材也得到了较大的发展，不断涌现各种纯金属靶板，不同配比的合金靶板在真空溅射镀膜上主要有两种用途,分别为功能镀及装饰镀。铌作为一种稀有难熔金属，在真空镀膜行业主要用作功能镀，因纯铌的加工性能较好，经过一定的技术，可加工成有绑定的阴极靶，目前应用最多的是纯铌靶板。但是铌合金靶材的研究在国内属于空白，在国际上运用于建筑玻璃、光伏等领域中的一种NbZr10合金靶板外形为矩形板状，长度一般在3至4米，例如两种常用NbZr10合金靶板的外型尺寸分别为18×244×3710mm及18×280×3050mm。由于NbZr10合金靶板的规格尺寸较大且NbZr10合金为脆性材料,而国内铌锭最大直径只有280mm,常用最大直径为160mm，整体锻造轧制极难完成，铣槽、铣边及打孔攻丝困难，使得NbZr10合金靶板整体加工难度极大且成本很高,NbZr10合金靶板的制造及应用受到了较大的限制。

发明内容

本实用新型所要解决的是提供一种NbZr10合金靶板，在满足NbZr10合金靶板绑定安装及使用技术要求的同时降低了NbZr10合金靶板的制造难度及成本，解决了该种NbZr10合金靶板因规格尺寸较大而难以制造的技术难题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用的技术方案是：

NbZr10合金靶板由若干块相同的靶板块沿纵向依次相贴合构成，其中每个靶板块由正面和背面构成，其中正面的纵向中轴线上开设有若干个紧固孔和若干个定位孔，背面纵向中轴线上开有通槽。其中紧固孔由凹台和通孔构成,凹台和通孔的横截面均为类似椭圆形的纵向通孔，每个靶板块正面开设的紧固孔至少为2个。其中在每个靶板块正面开设的定位孔是1个。

本实用新型的NbZr10合金靶板由若干块相同的靶板块依次贴合绑定构成，紧固孔设计成类似椭圆形,减少了制作及安装难度和加工成本，有效解决了NbZr10合金靶板制作及安装的技术难题。

附图说明

图1靶板块的实施例结构示意图。

图2附图1的俯视图。

图3附图2中A处局部放大图。

图4附图1的左视图。

图5NbZr10合金靶板的实施例安装结构示意图。

图中  1.正面；2.背面；3.紧固孔；4.定位孔；5.通槽；6.凹台；7.通孔；8.靶板块；9.背板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述，充分说明本实用新型的

具体实施方式：

NbZr10合金靶板外形呈矩形板状,附图1至4以规格为18×280×3000mm的NbZr10合金靶板为实施例具体说明结构及制作过程,NbZr10合金靶板由6张相同的靶板块组成,其中每张靶板块的外形尺寸为18×280×600mm，靶板块上下平面分别为正面和背面，正面纵向的中轴线上开设有紧固孔和定位孔，背面纵向的中轴线上开设有通槽，其中每个紧固孔由凹台和通孔构成，紧固孔和定位孔是通孔。其中紧固孔横截面类似椭圆形，加工方式是在正面纵向中轴线上加工出一圆形通孔，然后沿正面纵向中轴线上移动2mm后再加工出直径相同的一圆形通孔，再在两个圆形通孔相交部位加工出一矩形通孔，使得两圆形通孔和矩形通孔贯通成紧固孔。

依据附图5，将6张靶板块沿纵向依次相贴并铺设绑定在背板内，使得6张靶板块构成规格为18×280×3000mm的NbZr10合金靶板，其中在部分定位孔内插入定位销将靶板块定位在背板上，在紧固孔内穿入紧固螺栓等紧固零件后将靶板块固定在背板上，因紧固孔设计成类椭圆形，使得每块靶板块能沿纵向作一定的位置调整，从而有效解决因靶板块加工尺寸公差及安装尺寸余量带来的尺寸偏差，使得每块靶板块相互贴合紧密构成规格为18×280×3000mm的NbZr10合金靶板，同时完成NbZr10合金靶板的安装。