[实用新型]一种晶圆切割机去离子水流量报警装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及设备安全运行的报警装置的技术领域，特别是用于半导体行业晶圆切割机的水流量异常报警装置。

背景技术

晶圆切割机是一种利用金刚石刀片将整张圆片切割成单粒芯片的高精度设备。在晶圆的切割过程中，需要使用到大量的去离子水。去离子水的作用主要有如下两点：一、去离子水可以将切割圆片时产生的细微硅粉带走，防止硅粉累积在芯片表面和刀片上从而造成芯片擦花和沾污；二、去离子水可以冷却刀片。切割机的刀片是一直高速旋转，而且硅片的硬度很大，切割过程中会产生极高的热量，对设备、刀片和产品质量均有影响。去离子水则保持恒温，可以起到极大的降温作用。去离子水在晶圆切割过程中起着非常重要的作用。但在实际生产过程中会出现水流量异常甚至停水的现象，若设备没有任何报警和保护措施，轻则正在生产的晶片产品报废，重则刀片崩损，设备毁坏。目前，使用的日本DISCO公司的型号为DAD321的晶圆切割机就没有去离子水流量报警装置，当去离子水流量异常时设备不会报警。

实用新型内容

鉴于上述现有技术存在的问题，本实用新型旨在提出一种晶圆切割机去离子水流量报警装置，在去离子水流量异常时能自动发出报警，保证晶圆切割机的安全工作运转。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了下述技术方案：

一种晶圆切割机去离子水流量报警装置，包括有塑料壳体，壳体内有一上下贯通的腔道、腔道两端设有管接头，管接头分别与去离子水的管路连通，其特征在于：所述的腔道内放置有受水冲击可上移的磁钢块，而壳体内、腔道旁侧形成有一独立的安装槽，安装槽内放置有磁控感应开关，磁控感应开关的信号线与晶圆切割机控制系统连接。进一步地，所述的磁控感应开关为干簧管，磁钢块受水流带动上移至腔道上部时，可触发干簧管。磁钢块的重量需与去离子水水流的冲力相适应，正常水流下，磁钢块可被带动至腔道顶部。磁控感应开关在安装槽内位置必须与腔道内的磁钢块相匹配,磁控感应开关的感应位置要高于磁钢块在腔道内的最低点。

本实用新型具有以下有益效果：

1、利用水流作为感应产生信号，简单而又直接地完成对设备的监控，无需复杂、昂贵的装置，成本低；

2、通过磁控感应开关感应控制，可靠性高；

3、结构精巧简单，易于维护，便于推广应用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2是壳体的剖面示意图。

标号说明：1．壳体2.管接头3.磁钢块4.干簧管5.信号线

11.腔道12.安装槽

具体实施方式

参见图1-图2，本实用新型的晶圆切割机去离子水流量报警装置包括：塑料壳体1，一对管接头2，磁钢块3，干簧管4，信号线5。其中，壳体1内有一上下贯通的腔道11、腔道11两端设有铜管接头2，管接头2分别与去离子水的管路连通，腔道11内放置有受水冲击可上移的磁钢块3，而壳体1内、腔道11旁侧形成有一独立的安装槽12，安装槽12内放置有干簧管4，干簧管4的信号线5与晶圆切割机控制系统连接，以便将离子水的流量情况传递给设备控制系统。

工作原理：本报警装置连接在晶圆切割机的去离子水引入管路上，当管路中有水流通过时，壳体1内上下贯通的腔道11有正常水压，磁钢块3会在水流的作用下上升，当上升到达一定的位置后保持平衡，磁钢块3与旁侧安装槽12内的干簧管4之间的距离接近，磁钢块3的磁力会作用于干簧管4，使干簧管4感应触发而导通，通过信号线5给设备控制系统一个信号，确认情况正常，晶圆切割机运转工作；当管路中的水流量降低到一定程度或停水时，腔道11内水压减少或为零，磁钢块3因没有足够水流承托而会掉落下来，作用到干簧管4上的磁力会降低，直至干簧管4的触点断开，信号线5会传给设备控制系统另一个信号，确认出现不正常情况，设备会停止工作并发出警告声，从而确保晶圆切割机的安全。

上述实施例只是本实用新型的优选实施方式，本领域技术人员根据本实用新型说明书公开的内容能够认识到本实用新型在实施的过程中有多种变型。总之，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本实用新型的保护范围之内。