[实用新型]一种大口径光学元件激光预处理的装置有效
| 申请号： | 201220482823.9 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202780231U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 吴周令;陈坚;吴令奇 | 申请（专利权）人： | 合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;B23K26/42 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 口径 光学 元件 激光 预处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种大口径光学元件激光预处理的装置，包括有激光光源，其特征在于：还包括有相对被处理样品表面设置的激光能量回收反射镜。
2.根据权利要求1所述的一种大口径光学元件激光预处理的装置，其特征在于：所述的激光光源的后端设置有预处理激光能量调整控制系统和激光光束处理系统。
3.根据权利要求1所述的一种大口径光学元件激光预处理的装置，其特征在于：所述的激光光源的后端设置有光学楔板，光学楔板的第一反射输出端后设置有CCD成像系统，其第二反射输出端后设置有分光装置，分光装置的两分光输出端后分别设置有光电探测器和激光能量测量系统。
4.根据权利要求1所述的一种大口径光学元件激光预处理的装置，其特征在于：所述的激光能量回收反射镜的侧部设置有激光光束吸收装置。
5.根据权利要求1所述的一种大口径光学元件激光预处理的装置，其特征在于：所述的大口径光学元件激光预处理的装置还包括有相对被处理样品背面设置的照明及成像系统。
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