[实用新型]一种微型非接触五坐标测量机

权利要求书

1.一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：包括底座（16）、立柱（17）、带有导轨滑块组合的X轴、Y轴、Z轴直动机构（14、19、11）以及水平、竖直回转机构（4、7）；所述X轴直动机构（14）安装在底座（16）上，Z轴直动机构（11）设置在X轴直动机构（14）的滑块上，Y轴直动机构（19）固定在立柱（17）上，且立柱（17）固定在底座（16）上；所述水平回转机构（4）的下方固定连接有横梁（5），所述横梁（5）上设置有连接轴（211），竖直回转机构（7）通过连接轴（211）悬挂在横梁（5）的下方，且横梁（5）的末端与立柱（17）固定在一起；所述竖直回转机构（7）上连接有复合测头（6），复合测头（6）通过水平回转机构（4）与竖直回转机构（7）的配合，悬于Z轴直动机构（11）的上方。

2.根据权利要求1所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述X轴直动机构（14）包括与X轴平行的两条第一导轨（12），且该两条导轨之间设置有带丝杆螺母的第一滚珠丝杆（32），第一滚珠丝杆（32）的一端连接有第三步进电机（31）；所述两第一导轨（12）的内侧上安装有带读数头的第一直线光栅尺（13），所述第一直线光栅尺（13）的读数头与第一滚珠丝杆（32）的丝杆螺母的安装座相连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述Z轴直动机构（11）包括与Z轴平行的两条第二导轨（15）以及托盘（33），所述托盘（33）安装在第一导轨（12）的滑块上，并通过第一滚珠丝杆（32）的丝杆螺母与其连接；所述两第二导轨（15）之间设置有带丝杆螺母的第二滚珠丝杆（8），第二滚珠丝杆（8）一端连接有第四步进电机（10）；所述第二导轨（15）的滑块上设置有工作台（9），所述工作台（9）通过第二滚珠丝杆（8）的丝杆螺母与第二导轨（15）的滑块固定连接；所述两第二导轨（15）的内壁上，安装有带读数头的第二直线光栅尺（34），所述第二直线光栅尺（34）的读数头与第二滚珠丝杆（8）的丝杆螺母的安装座相连接。

4.根据权利要求1所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述Y轴直动机构（19）包括与Y轴平行的两条第三导轨（23）、第二从动齿形带轮（28）以及第二驱动齿形带轮（26）；所述第三导轨（23）的滑块与横梁（5）固定连接在一起，所述两第三导轨（23）之间设置有带丝杆螺母的第三滚珠丝杆（30）；所述第三滚珠丝杆（30）与第二从动齿形带轮（28）同轴固定，同时第二从动齿形带轮（28）还与第二驱动齿形带轮（26）相啮合；所述第二驱动齿形带轮（26）连接有第五步进电机（24）；第三滚珠丝杆（30）通过其上的丝杆螺母与横梁（5）连接；所述两第三导轨（23）外侧、立柱（17）外壁上，安装有带读数头的第三直线光栅尺（22），且第三直线光栅尺（22）的读数头与横梁（5）相连接。

5.根据权利要求1或4所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述Y轴直动机构（19）还包括平衡机构，所述平衡机构包括燕尾座（27）、钢带（25）、滑轮（29）、平衡块（21）以及两根平衡块支架（20）；所述钢带（25）支撑在滑轮（29）上，一端固定在横梁（5）上，另一端固定在平衡块（21）上；所述平衡块支架（20）竖直设置在立柱（17）上，上端与燕尾座（27）固定连接，下端与支架（17）固定连接；所述平衡块（21）镶嵌在两平衡块支架（20）之间，所述滑轮（29）对称安装在燕尾座（27）的两端。

6.根据权利要求1所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述水平回转机构（4）包括第一步进电机（1）、减速器（2）、减速器支架（3）、驱动直齿轮（201）以及从动直齿轮（204）；所述减速器（2）安装在减速器支架（3）上；所述第一步进电机（1）的输出转轴与减速器（2）相连接，且减速器（2）与驱动直齿轮（201）同轴固定，驱动直齿轮（201）设置在减速器支架（3）的内部；所述驱动直齿轮（201）与从动直齿轮（204）相啮合，从动直齿轮（204）上设置有第三锁紧螺母（202）和第四胀套（203），且从动直齿轮（204）通过第三锁紧螺母（202）和第四胀套（203）固定在连接轴（211）上。

7.根据权利要求6所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述减速器支架（3）上开设有用来调整齿轮中心距的腰形槽。

8.根据权利要求1或6所述的一种微型非接触五坐标测量机，其特征在于：所述竖直回转机构（7）由蜗轮蜗杆消隙传动机构组成，所述涡轮蜗杆传动机构的涡轮轴（121）与横梁（5）上的连接轴（211）相连；所述连接轴（211）穿过横梁（5）内的部分串联配置有成对双联接触球轴承（207），连接轴（211）通过第一锁紧螺母（205）以及第一压盖（206）将其与横梁（5）固定在一起；所述连接轴（211）的下方安装有第一定位光栅（210），且横梁（5）的下方安装有第一读数头支架（208），所述第一读数头支架（208）上固定有与第一定位光栅（210）相配合的第一读数头（209）。