[实用新型]靶罩有效
| 申请号： | 201220483202.2 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202786402U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 杜杰;王建华;王鲁南;项宏其;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 210046 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶罩 | ||
【权利要求书】：
1.靶罩，其特征是：包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。
2.如权利要求1所述的靶罩，其特征是：挡板上开有腰形孔，面板上开有螺孔，穿过腰形孔的螺钉与螺孔相连。
3.如权利要求2所述的靶罩，其特征是：挡板包括与面板平行的连接板、与连接板相连的向上延伸的过渡板、伸出到溅射孔上方的工作板；腰形孔在连接板上。
4.如权利要求1所述的靶罩，其特征是：翼板从下向上向溅射孔的内侧倾斜。
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