[实用新型]一种洁净微环境

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种洁净微环境，可用于半导体晶圆制造领域中。

背景技术

目前，由于集成电路的集成度越来越高，而且环境的要求越来越严，费用越来越大，且由于没有能最大限度地消除人在芯片的加工和清洗过程中的污染，因此即使生产环境很好，也不一定能生产出合格产品。在生产工艺中，最终需要有单个硅晶片的装卸操作，通常是操作人员用特殊设训的镊子夹住品片的边缘，或者借助真宅棒产生的吸力从硅晶片的背面拿起或吸起来。然而，在这过程中来自人、镊子或真空棒的直接粒子污染或非粒子污染仍无法完全避免。针对上述问题，人们发明了洁净微环境，其可以把生产、加工芯片的部位用高洁净的微环境封闭起来，使操作人员与硅晶片彻底隔开。

在洁净微环境中，洁净气流以均匀的断面风速流经工作区，从而形成高洁净的工作环境。洁净微环境的风量可调，并可根据客户的需要配备日光灯及紫外灯。此外，微环境可以进行拆装，安装在客户指定的任何位置。因此，洁净微环境在生物、制药、航天、航空、半导体、制造等行业取得了较好的应用，是一种理想的辅助设备。

现有的洁净微环境参见附图1~2所示，包括一洁净空间1，洁净空间的顶部设有气相过滤器2和风机3，洁净空间的底部设有通气孔，使洁净空间与整个洁净室底部的出气空间相连通；此外，洁净空间的侧面还设有工作台4，工作台和洁净空间之间设有工作台出气口。工作时，待过滤气体由风机吸入，并经过气相过滤器过滤之后进入洁净微环境的洁净空间内，这些过滤后的洁净气体中，一部分经过洁净空间底部的通气孔流出，另一部分通过洁净空间的工作台出气口流出，从而形成一空气循环系统，如图2所示。

然而，对于一些需要深度过滤的场合，例如：待过滤气体中的杂质含量为10ppb，而洁净微环境的洁净空间内需要达到的杂质含量为1ppb，这就需要其气相过滤器一直处于高负荷的工作状态，这不仅加重了气相过滤器的工作负担，而且也很容易导致气相过滤器发生吸附饱和，降低了气相过滤器的使用寿命。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种洁净微环境。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种洁净微环境，包括一洁净空间，洁净空间的顶部设有气相过滤器和风机；洁净空间的侧面设有工作台，工作台和洁净空间之间设有工作台出气口；所述洁净空间的一侧设有一循环空间，循环空间和洁净空间之间设有气体通道，循环空间的出气口与所述气相过滤器连通，使洁净空间、循环空间和气相过滤器构成一空气循环系统；

所述洁净空间的底部为封闭系统。

上文中，所述洁净空间的底部为封闭系统，即洁净空间的底部是封闭的，不设有通气孔；因而该洁净空间与整个洁净室底部的出气空间是不连通的。

所述气相过滤器和风机，以及工作台、工作台出气口均为现有技术。

上述技术方案中，所述气体通道内设有气体调节阀。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型设计得到了一种新的洁净微环境，在洁净空间的一侧设置循环空间，并使洁净空间、循环空间和气相过滤器构成一空气循环系统，因而可以利用一部分从洁净空间里出来的过滤后气体作为气源，而这部分过滤后气体由于具有较低的杂质含量，从而降低了气相过滤器的工作负荷，有利于气相过滤器的长期使用。

2、本发明的装置结构简单，易于制备，适于推广应用。

附图说明

图1是背景技术中洁净微环境的结构示意图；

图2是图1的气流示意图；

图3是本实用新型实施例一的结构示意图；

图4是图3的气流示意图。

其中：1、洁净空间；2、气相过滤器；3、风机；4、工作台；5、循环空间；6、气体通道。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图3~4所示，一种洁净微环境，包括一洁净空间1，洁净空间的顶部设有气相过滤器2和风机3；洁净空间的侧面设有工作台4，工作台和洁净空间之间设有工作台出气口；所述洁净空间的一侧设有一循环空间5，循环空间和洁净空间之间设有气体通道6，循环空间的出气口与所述气相过滤器连通，使洁净空间、循环空间和气相过滤器构成一空气循环系统；

所述洁净空间的底部为封闭系统，可以采用盲板结构。

所述气体通道内设有气体调节阀。采用该气体调节阀可以调节从洁净空间出去的过滤后气体的气体量。

例如，假设从整个洁净室内的某一杂质含量（如氯气含量）为10 ppb，对于洁净微环境而言，待过滤气体中的杂质含量为10 ppb，而假设洁净微环境内要求改杂质含量为1 ppb，在进气流量相同的条件下，则现有的气相过滤器的工作负荷为从10 ppb处理到1 ppb；而采用本实施例的洁净微环境，假设所述循环空间和洁净空间之间设有气体通道6的气流量为进气量的一般，则此时的进气口出的杂质含量为：10*0.5+1*0.5=5.5 ppb，即本实施例中的气相过滤器的工作负荷为从5.5 ppb处理到1 ppb。由此可见，本实用新型的洁净微环境可以有效降低气相过滤器的工作负荷，有利于气相过滤器的长期使用。