[实用新型]一种多晶硅片清洗机热水供应方式

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅片清洗机热水供应方式。

背景技术

硅片清洗是多晶硅片生产中一个非常重要的环节，。微量污染会导致器件失效，所以多晶硅片须经严格清洗。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。

目前的硅片清洗机普遍采用超声波清洗和加热同时进行并加入碱对硅片进行清洗，在清洗过程中需要加入大量的热水。行业内一般采用人工加水的方式为清洗机供应热水，不仅增加了人工还存在一定的危险。

发明内容

为了克服现有技术中的缺点，本实用新型提供了一种多晶硅片清洗机热水供应方式。既清洗机和大功率热水器通过水泵连接，水泵将热水从热水器中抽出注入清洗机中。节约了人工并保证操作人员的安全。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：硅片清洗机和热水器通过水泵连接：水泵进水口与热水器出水管道相连，水泵出水口与清洗机超声碱洗槽供水管道相连。水泵将热水从热水器中抽出注入清洗机中。热水管道采用PPR材质，管道之间连接采用焊接方式。

附图说明

附图为己安装热水器的清洗机管道示意图。

图中1.热水器，2.热水器管道，3.泵，4.清洗机超声碱洗槽，5.纯进水总管道，6.全PPH球阀，7.PPH气动球阀，8.碱总排污管道，9.污水处理装置。

具体实施方式

结合附图对本实用新型实施例进一步说明。

在清洗机4附近加装一台大功率热水器1并长期运行，由纯水管道5给热水器1供水，热水器1和清洗机4之间通过水泵3及PPR管道2连接。清洗机需要更换热水时，先打开气动球阀7使清洗机中的废水通过排污管道8排入污水处理装置9中，再开启水泵3把热水器1中热水注入清洗机4超声碱洗槽中完成换水过程。