[实用新型]一种加速度计有效
| 申请号： | 201220488378.7 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202815008U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 俞度立;于连忠;杨长春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加速度计 | ||
【权利要求书】：
1.一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；其特征在于，所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置。
2.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述弹性折叠梁的两末端位于同一直线上。
3.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述质量块为矩形体，所述质量块的横截面为正方形。
4.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述弹性折叠梁的一端分别与所述质量块的转角处相连接。
5.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述测量体为双面绝缘体上外延硅结构，包括上硅层、中间硅层及下硅层；每两层硅层之间分别设置有二氧化硅层。
6.如权利要求5所述的加速度计，其特征在于，多个所述弹性梁分别对称地成形于所述上硅层和所述下硅层，形成双层结构。
7.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述测量体、所述上盖板硅片及所述下盖板硅片上分别设置有电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院地质与地球物理研究所，未经中国科学院地质与地球物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220488378.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
