[实用新型]一种扩散石英舟清洗槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种清洗槽，特别是涉及一种用于清洗扩散石英舟的清洗槽。

背景技术

现有技术中，石英舟清洗槽作为清洗液的盛放容器，工人在清洗槽内倒入清洗液，然后将石英舟放入清洗槽体，清洗过程中，石英舟与清洗液几乎没有相对的运动，石英舟清洗以浸泡为主，如配备人员手工清洗将耗费大量人工而且也较难以达到很好的清洁效果。在过程中如果石英舟得不到全面的清洗，则会有污染物残留，由于石英舟清洗不干净，从而容易造成硅片在扩散过程被污染。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散石英舟清洗槽，解决原有清洗槽仅仅作为清洗液的容器，无妨对扩散石英舟进行彻底清洁的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是这样的，一种扩散石英舟清洗槽，包括槽体，其特征在于，所述槽体的两个相对侧面对称设有承接器，所述承接器由底座和固定爪组成，所述固定爪为三根设置在底座圆周三等分处的圆柱体，其中一根圆柱体设有可弯折部，所述承接器通过轴承与槽体连接，所述槽体侧面还设有电机，电机与承接器连接驱动其旋转。

为了使石英舟能更加牢固地固定在承接器上，保证石英舟在旋转时不脱落，所述固定爪设有胶质防滑套。

本实用新型所提供的技术方案的优点在于，利用承接器固定石英舟，并且通过电机的驱动使得石英舟在清洗槽内旋转，达到增强清洁效果的目的。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为承接器的结构示意图；

图3为承接器的侧视图。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。

一种扩散石英舟清洗槽，包括槽体1，槽体1的两个相对侧面对称设有承接器2，承接器2由底座21和固定爪22组成，固定爪22为三根设置在底座圆周三等分处的圆柱体，其中一根圆柱体设有可弯折部23，固定爪22设有胶质防滑套24。承接器2通过轴承与槽体1连接，槽体1侧面还设有电机3，电机3与承接器2连接驱动其旋转。需清洗石英舟时，弯折固定爪2的可弯折部23，将石英舟4放置在承接器2内之后将可弯折部23复位，固定爪2将石英舟4固定，在清洗槽槽体1内倒入清洗液后，电机3驱动承接器2旋转，即使得石英舟4在槽体1内同步旋转，增强清洁效果。