[实用新型]高精密度镜方位调整架

说明书

技术领域

本实用新型有关于高精密方位调整的光学反射镜，除了传统上使用的固定球体，调整板及微调板外，本实用新型还提供微调的机构，使得镜面除了粗调外还可进行微调，可精确的引导反射光束至所需要的位置点。 

背景技术

在光学的应用中通常必需将光束经由一反射作用导向一标的投射点如在干涉仪等的应用。因此使用反射镜而将入射光束反射至一标的投射点。但是如果反射光束无法精确的指向标的投射点，使用者必须调整该反射镜的方位，而使得该光束导引项标的投射点。因为必须相当高的精准度，调整的步骤必须相当精准。 

图1A及1B中显示现有技术中反射镜方位调整的方式。在下文中将说明此现有结构的各元件。 

一反射镜20用于反射入射光束C且产生反射光束R到一标的投射点P。一般该反射光束R无法直接指向该标的投射点P，所以使用者必须调整该反射镜20的方位以使得反射光束R可以指向该标的投射点P。 

一固定板10用于固定该反射镜20。例如可以将反射镜20紧紧的埋入或以螺旋方式固定到该固定板10中。在该图中是将该反射镜20埋入该固定板10的一开口12中。 

一调整板30位于该固定板10的后侧。 

一固定球体40固定在该固定板10及该调整板30之间。在本例子中，固定板10形成一凹槽11，且调整板30形成一凹槽33。该固定球体40则位于该固定板10的凹槽11及该调整板30的凹槽33之间。 

一维持弹簧50固定在该固定板10的穿孔14及调整板30的穿孔37之间。该维持弹簧50的效用为将固定板10及调整板30拉近，而该固定球体40则使得该调整板30及该固定板10可以维持在一定的距离之间。所以由该固定板10、调整板30、固定球体40及维持弹簧50所形成的结构维持一固定的关系。 

如上所述，必须将反射镜的方位微微的调整而使得反射光束R指向一标的投射点P。第一调整螺丝60的一端抵住该固定板10，且该第一调整螺丝60的一段螺合该调整板30的螺纹孔32的一段，而第一调整螺丝60的另一端从该调整板30的后侧露出来，在调整时，当使用者调整第一调整螺丝60时，将使得该调整板30及固定球体40拉进或远离。 

但是在现有技术中，由于在使用者所使用的灵敏度，该第一调整板30的每一个移程将受到限制。结果通常该移程是几微米，此距离太大而无法对反射光束R的反射进行微细的控制。而导致调整上的困难。 

实用新型内容

本实用新型有关于高精密方位调整的光学反射镜，除了传统上使用的固定球体，调整板及微调板外，本实用新型还提供微调的机构，所以使得镜面除了粗调外还可进行微调，所以可以精确的引导反射光束至所需要的位置点。 

为达到上述目的，本实用新型中提出一种高精密度镜方位调整架，其包含: 

一个反射镜，用于反射入射光束且产生反射光束到标的投射点；

一个固定板，用于固定该反射镜；

一个调整板，位于该固定板的后侧；

一个固定球体，固定在该固定板及该调整板之间，使得该调整板及该固定板维持在一定的距离之间；

一个维持弹簧，固定在该固定板的穿孔及调整板的穿孔之间，用于将固定板及调整板拉近；由该固定板、调整板、固定球体及维持弹簧所形成的结构维持固定的关系；

一个微调板，安装在该调整板的后侧；

一个应力轴，有一个第一端，该第一端通过该微调板的一个穿孔，且固定到该调整板的一个螺纹孔中；该应力轴的第二端经由该微调板的穿孔而从该微调板中露出来；一个第一应力弹簧安装在该微调板及该应力轴露于该微调板的外侧且包围该应力轴；一个第二应力弹簧安装在该调整板及该微调板之间且包围该应力轴的一段，该段位于该调整板及该微调板之间；该第一应力弹簧为具有第一弹性系数K1的弹簧；该第二应力弹簧为具有第二弹性系数K2的弹簧；该具有第一弹性系数K1的第一应力弹簧及该具有第二弹性系数K2的第二应力弹簧均能使得该应力轴牢固在该调整板及微调板之间；

一个第一调整螺丝，其一端抵住在该固定板中的凹槽的内壁，且该第一调整螺丝的中段螺合该调整板的螺纹孔，其中该微调板的该穿孔的直径大于该第一调整螺丝的直径以不影响该第一调整螺丝的移动；调整该第一调整螺丝将导致固定板及调整板拉近或远离；