[实用新型]一种十二寸晶圆框架

权利要求书

1.一种十二寸晶圆框架，其特征在于，包括一框架主体，所述框架主体为圆环形被直线四条边沿其外边缘截取四部分后的形状，所述四条边长度均相等且相对的两两平行；在此其截取位置四条边定义为截取边，相邻所述截取边之间的框架主体弧形外边缘部分定义为弧形边；其中，间隔的两个所述截取边相互平行，相邻的两个所述截取边相互垂直；且四条所述截取边中的其中一条截取边两端设有两个齿形缺口。 

2.根据权利要求1所述的一种十二寸晶圆框架，其特征在于，所述两个齿形缺口中的一个齿形缺口夹角为60°，另一个齿形缺口夹角为120°。 

3.根据权利要求2所述的一种十二寸晶圆框架，其特征在于，所述框架主体内径为699.96mm，所述弧形边到圆心的距离为399.98mm,两条所述平行的截取边之间的距离为759.95mm，所述齿形缺口夹角为60°的缺口底部到与两齿形缺口之间的截取边相平行的直径之间的距离为341.78mm，所述齿形缺口夹角为120°的缺口底部到与两齿形缺口之间的截取边相平行的直径之间的距离为343.58mm。