[实用新型]机械扫描探头

权利要求书

1.一种机械扫描探头，其特征在于，包括座体、壳体、换能器，所述壳体安装于所述座体上，所述座体上设有开口，于该开口处连接有一体积补偿结构件，所述体积补偿结构件与座体、壳体一起形成一可容纳所述换能器的密闭空间，所述密闭空间内充填有液体，所述体积补偿结构件上具有至少一个面向所述密闭空间的凹陷结构，且当所述液体压力增大时所述凹陷结构向密闭空间外侧方向发生形变。

2.根据权利要求1所述的机械扫描探头，其特征在于：在所述体积补偿结构件的工作温度范围内，所述体积补偿结构件上一直存在至少一个面向所述密闭空间的凹陷结构。

3.根据权利要求1或2所述的机械扫描探头，其特征在于：所述体积补偿结构件为一管状件，所述管状件一端开口与座体上的开口相连通，管状件另一端开口通过堵头封堵，所述管状件管壁在沿长度方向为波纹状，其中，面向管状件内部的波峰即形成所述凹陷结构。

4.根据权利要求1或2所述的机械扫描探头，其特征在于：所述体积补偿结构件为一薄膜件，所述薄膜件封闭所述座体上的开口而与座体、壳体一起形成所述密闭空间，所述薄膜件上设置凹陷结构。

5.根据权利要求4所述的机械扫描探头，其特征在于：对于所述座体、所述体积补偿结构件、所述液体三者的接触线上任意一点，可在所述接触线上找到另外一点，以所述两点为端点的线段上除了两端点外其他所有点均处于所述密闭空间外部。