[实用新型]利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置

权利要求书

1.一种利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于包括：半导体激光器模块（1，1’），场镜（2，2’），光栅（3），外腔反窥镜（4，4’），半波片（5），反射镜组（61，62），偏振分光棱镜（7），其半导体激光器模块（1，1’）与外腔反窥镜（4，4’）分别组成两个激光振荡腔，其中：

半导体激光器模块（1，1’）由半导体激光器（14）、快轴准直镜（15）和慢轴准直镜（16）组成；

单元光束入射到光栅（3）的振动方向与光栅（3）要求的偏振方向相匹配；

半导体激光器模块（1，1’）、场镜（2，2’）和光栅（3）的位置关系满足：半导体激光器模块（1，1’）和光栅（3）分别位于场镜（2，2’）的前后焦平面处。

2.根据权利要求1所述的利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于：半导体激光器（14）为多个激光单管组合，或为激光列阵，或由激光列阵组成的激光线阵或迭阵，或者是多个激光线阵或迭阵的组合。

3.根据权利要求1所述的利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于：半导体激光器（14）输出激光一端的腔面膜反射率<0.5%，另一端的腔面膜反射率>95%；该半导体激光器（14）输出激光束的偏振度>95%。

4.根据权利要求1所述的利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于：半导体激光器（14）的材料增益波长覆盖半导体激光器所有能激射波长，包括从紫外到红外，其排列方式沿着光谱合束方向单调变化；半导体激光器（14）为多个激光单元组合时，激光单元材料相互之间相同或不同。

5.根据权利要求1所述的利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于：光栅（3）为透射或反射式，只存在1级衍射或只存在-1级衍射，衍射效率>90%，并具有高损伤阈值，达到10KW/cm²量级。

6.根据权利要求1所述的利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于：外腔反窥镜（4，4’）为部分反射镜，反射率为5%~15%，并与光栅（3）产生的衍射光的传输方向垂直。

7.根据权利要求1所述的利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于：半波片（5）和偏振分光棱镜（7）为宽波带元件，其使用光谱范围大于外腔反馈镜（4，4’）输出偏振激光束（8，8’）的光谱宽度，并具有高损伤阈值，要求激光连续工作模式下，大于10KW/cm²。