[实用新型]一种用于光刻机的楔形板组的胶合夹具

说明书

技术领域

   本实用新型涉及光刻机，特别是一种用于光刻机的楔板组的胶合方法和夹具，该楔板组胶合主要用于光衍射分离，该向成果直接影响到光刻机里的硅片向位光栅自动对准。

背景技术

目前欧美国家胶合(40到60)x(40到60)mm材料为肖特BK7（加工完光圈为N=1，△N=0.3，中心区域见图1所示N=0.2，△N=0.1；镀膜后进行胶合，胶合后光圈要求为N=1，△N=0.3），中心区域胶合完成后可以到达N=0.2，△N=0.1的要求，胶层厚度控制在15μm，胶水面积扩散特定的区域，且胶水的最终扩散面积控制在直径为8--12mm之间；但是国内企业胶合的楔板组胶合完成后，中心区域光圈为N=2～2.5，△N=1～1.5，远远不能满足90nm光刻机的要求。

实用新型内容

    本实用新型的目的在于提供一种用于光刻机的楔板组的胶合方法，克服国外对中国该项技术的封锁，满足国内90nm光刻机的设计需要，即使(40～60)x(40～60)mm材料为肖特BK7（加工完光圈为N=1，△N=0.3，中心区域的N=0.2，△N=0.1；镀膜后进行胶合，胶合后光圈要求为N=1，△N=0.3）中心区域胶合完成后可以到达N=0.5，△N=0.5的要求，并且可以控制胶水的厚度和面积，使之符合要求。

本实用新型的技术解决方案是：

   1、一种用于光刻机的楔板组的胶合方法，其特点在于，该方法包括下列步骤：

①建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20～26℃±0.1℃，湿度为50～70%，标准大气压下超净工作台上进行胶合工作；

②在超净工作台，工作人员带上防静电手套和口罩,对待用的镀膜后的楔形板用Zygo VeriFire非球面干涉仪上进行测量，对符合要求的镀膜楔形板用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭,在擦拭过程中把楔形板放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；

③将第一快楔形板置于楔板胶合夹具上，使第一快楔形板的两边靠贴所述的楔板胶合夹具上的基准靠边，确保胶合面朝上并成水平，然后采用点胶机并在气压为0.1～0.2Mpa，控制时间在1.5～3.5s对胶合区域（如图5所示阴影部分）进行控胶量点胶，再将第二楔形板的胶合面轻轻地放置在第一楔形板的胶合面上，在两基准靠边的对面给所述的楔形板施加一定力，构成楔板组；

④打开紫外光源对胶点（根据实际点胶位置）进行20～50s曝光等待5～10分钟，获得半固化胶合楔板组；

    ⑤初步固化测量：

将所述的楔板组连同楔板胶合夹具一起拿到Zygo VeriFire非球面干涉仪上进行测量，检查楔板组的正面面形，当面形符合设计要求时，进入步骤⑥；当面形不符合设计要求时，进入步骤⑦；

⑥卸下基准边靠边对面的施力，等待5分钟后，翻转所述的楔板组，再利用Zygo VeriFire非球面干涉仪进行反面面形测量，当反面面形不符合设计要求时，进入步骤⑦；当反面面形符合要求时，楔板组初步固化合格，则进入步骤⑧; 

⑦所述的楔板组卸离所述的楔板胶合夹具后，将所述的楔板组用二氯甲烷浸泡或者酒精浸泡，拆卸所述的半固化胶合楔板组，进入步骤②；

⑧最终固化测量：

用所述的紫外光源，对初步固化合格的楔板组再照射两次，每次120秒，间隔为3～5分钟，将楔板组连同楔形板基座放在恒温箱内，经22～26小时后再次进行测量，当测量面形不符合设计要求时，则进入步骤⑨，当测量面形符合设计要求时，楔板组最终固化胶合成功，称为胶合好的楔板组，进入步骤⑩；

⑨采用现有的工艺拆分楔板组（用二氯甲烷进行元件分离，粘结处必须浸泡在溶剂中，通常一夜便可分离。）进入步骤②；

⑩对胶合好的楔板组进行包装，将包装好的楔板组放在恒温箱内五天以上，让其完全固化，完全固化后待用。

所述的镀膜楔形板光圈标准要求：N=1，△N=0.3，中心区域N=0.2，△N=0.1。

所述的胶合后楔板组的光圈标准要求为：N=1，△N=0.3，中心区域的光圈N=0.5，△N=0.5。

所述的控制胶量点胶采用型号为OPAS ZERO 580的点胶机，点胶机气压跳到0.1--0.2Mpa，时间控制在1.5--3.5s。

上述胶合方法，利用一种用于光刻机的楔形板组的夹具，该夹具包括夹具体底座，该夹具体底座的四周分别设有楔板基准靠边，该夹具体底座的相邻两边外侧还分别设有弹簧和定位销。