[实用新型]一种防硅片错位的扩散石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扩散石英舟，具体的涉及一种防硅片错位的扩散石英舟。 

背景技术

制造功率硅整流元件的关键工艺是硅单晶片的杂质扩散，纸源扩散是将两种纸源与硅片交替叠放于扩散石英舟，在进行高温纸源扩散过程中，纸源的燃烧会发生轻微的沸动，由纸源燃烧所产生大量热能转化而来的动能会使得硅片产生位移而错位，硅片放置在传统的扩散石英舟内会发生较大的位移而错位，并且传统扩散石英舟很容易发生变形，这样导致硅片与扩散石英舟之间的间隙变得很小，纸源扩散后硅片不易从扩散石英舟内取出，这样在进行后续浸泡氢氟酸的工序时，需要将整个扩散石英舟与硅片一起浸泡入氢氟酸内，而氢氟酸对石英有较强的腐蚀性，这样大大减少了扩散石英舟的寿命。

传统的扩散石英舟采用的是四根石英棒作为定位点，在高温的作用下，石英棒较易变形从而易断裂，减少了石英舟的整体寿命。 

发明内容

本实用新型的目的在于针对上述存在的缺陷而提供一种防硅片错位的扩散石英舟，该种扩散石英舟既解决高温纸源扩散后硅片发生较大错位后难以从扩散石英舟内取片的问题；又解决了高温纸源扩散后用来定位的石英棒易变形断裂的问题。

本实用新型的技术方案为：一种防硅片错位的扩散石英舟，包括舟体，所述舟体内设有若干个挡板，该挡板包括若干石英片；所述挡板为中间低两端高；所述舟体底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构。

所述支撑结构为单根圆棒。

所述的单根圆棒为石英棒

所述石英棒的直径为3～5mm。

本实用新型的有益效果为：本实用新型的防硅片错位的扩散石英舟，在舟体内设有若干个挡板作为定位点，取代传统的四根石英棒作为定位点，从根本上解决因在高温作用下，石英棒变形易断裂而缩短扩散石英舟整体寿命的问题。同时，挡板包括若干石英片，这样在一定基础上减小了挡板的应力释放，减少挡板使用过程中的损伤，从而也提高了扩散石英舟的使用效果及寿命。挡板中间低两端高的设计，既能满足挡板的定位作用，又可以为扩散石英舟内的空气流动提供了通道。

在舟体底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构，该支撑结构作为一支撑位，使扩散石英舟在放置于水平面上时，整体向一边稍微倾斜。当将硅片放置于该扩散石英舟内，硅片也会随着扩散石英舟向一边倾斜一定的角度，同时在定位点挡板的作用下，在高温纸源扩散过程中硅片无法产生较大的位移而引起错位，避免因硅片的移位而造成纸源扩散后难以取片的问题，这样在后续浸泡氢氟酸的工序时，只需将取出的硅片放入氢氟酸即可，无需再将整个扩散石英舟泡入氢氟酸酸内，避免了氢氟酸对扩散石英舟的腐蚀，相较于传统扩散石英舟而言，该防硅片错位的扩散石英舟提高了使用寿命。

附图说明

图1 为本实用新型具体实施方式中防硅片错位的扩散石英舟结构俯视图；

图2 为本实用新型具体实施方式中防硅片错位的扩散石英舟结构侧视图；

图3为图2的左视图；

  其中，1为舟体，2为挡板，3为石英片，4为支撑结构。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的技术方案进行详细的说明。

从图1、图2、图3中可以看出，本实用新型的一种防硅片错位的扩散石英舟，包括舟体1，所述舟体1内设有若干个挡板2，该挡板2包括若干石英片3；所述挡板2为中间低两端高；所述舟体1底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构4。

所述支撑结构4为单根圆棒。

所述的单根圆棒为石英棒。

所述石英棒的直径为3～5mm。

当进行高温纸源扩散时，将硅片放置于该扩散石英舟内，因在舟体1底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构4，该支撑结构4作为一支撑位，使扩散石英舟在放置于水平面上时，整体向一边稍微倾斜，硅片也会随着扩散石英舟向一边倾斜一定的角度，同时在作为定位点的挡板2的作用下，在高温纸源扩散过程中硅片无法产生较大的位移而引起错位。