[实用新型]一种单晶炉装置

权利要求书

1.一种单晶炉装置，包括炉体，所述炉体内包括有坩埚(10)和设于所述坩埚上方的第一导流筒(7)，其特征在于，炉体内还包括有一个中空的直筒(4)，所述直筒的上端面设置在炉体的炉勃口(2)处，其下端面设置在所述第一导流筒的上方或设置在与所述第一导流筒上端面的高度平齐的位置。

2.根据权利要求1所述的单晶炉装置，其特征在于，所述炉体内还包括有支撑环(1)，所述直筒(4)通过支撑环支撑在所述炉勃口处，支撑环为环状，其下端部向支撑环的中心方向延伸形成肩部，所述肩部设置在炉体的炉勃口处，所述直筒为圆筒状，直筒的上端部向外延伸形成凸缘(3)，所述凸缘能够支撑在所述支撑环的肩部上。

3.根据权利要求2所述的单晶炉装置，其特征在于，所述直筒(4)采用石英制成，支撑环(1)采用不锈钢制成。

4.根据权利要求1-3之一所述的单晶炉装置，其特征在于，所述炉体内还包括有第二导流筒(5)，所述第二导流筒设置在所述第一导流筒(7)的内表面上。

5.根据权利要求4所述的单晶炉装置，其特征在于，所述炉体内还包括有保温盖(6)，所述保温盖设置在坩埚的上方且处于第一导流筒的外围，所述第二导流筒(5)的上端部搭接在所述保温盖上。

6.根据权利要求4所述的单晶炉装置，其特征在于，所述直筒(4)的下端面的面积小于或等于第二导流筒上端面的面积。

7.根据权利要求4所述的单晶炉装置，其特征在于，所述第一导流筒(7)采用石墨制成，所述第二导流筒(5)采用石英制成。