[实用新型]一种陶瓷激光精密打孔装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种陶瓷激光精密打孔装置，属激光加工技术领域。

背景技术

工程陶瓷材料具有强度高、耐高温、耐磨损、耐腐蚀等优良性能，目前已经在机械、电子、化工、航空航天等行业得到了广泛的应用。由于工程陶瓷具有很高的硬度和脆性，其成型加工非常困难，特别是成型孔的加工尤其困难。自从激光出现以来，利用激光高功率密度的特性及良好的方向性，人们将它应用于打孔加工技术上。激光打孔一般采用脉冲激光器，激光束通过光学系统聚焦在与激光轴垂直放置的工件上，渐次发出高能量密度(10⁵-10⁹W/cm²)的激光脉冲使材料熔化、汽化，一股与光束同轴气流由激光切割头喷出，将融化了的材料由切口的底部吹出而逐步形成通孔。由于上述激光打孔的机理，形成的圆柱孔会有一定的圆锥度存在，特别是较深的孔。

发明内容

为了克服上述现有方法的不足，本发明提供一种陶瓷激光精密打孔装置。

解决上述问题的技术方案是：一种陶瓷激光精密打孔装置，由工件1，激光切割头2，聚焦镜3、工作台4组成，其特征在于：工件1固定在与激光切割头2的光轴倾斜的工作台4上，随工作台4一起旋转。

上述陶瓷激光精密打孔装置，其特征在于：所述聚焦镜3装在激光切割头2中，激光切割头2发出的激光束，经过聚焦镜3聚焦后，照射在工件1的表面上。

本发明的有益效果是，采用陶瓷激光精密打孔装置，可以减小激光打孔后的圆锥度，提高激光打孔的形状精度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

附图是本发明的声功率检测方法示意图。

具体实施方式

图中，1.工件，2.激光切割头，3.聚焦镜，4.工作台

在附图中，工件1固定在与激光切割头2的光轴倾斜β角的工作台4上，随工作台4一起旋转。在激光打孔的过程中，激光切割头2的光轴与地面垂直，工件1倾斜β角且随工作台4一起绕着自身小孔中心轴线作定轴转动；或者工件1不倾斜，而让激光切割头2的光轴倾斜β角，工件1在激光打孔的过程中绕着铅垂轴线作定轴转动，仍然可以减小激光传统打孔方法造成的圆锥度。工件1倾斜β角的大小对孔的圆柱度影响最大。

所述聚焦镜3装在激光切割头2中，激光切割头2发出的激光束，经过聚焦镜3聚焦后，照射在工件1的表面上。激光输出能量对孔的形状精度影响也较大，并且在一定范围内波动。