[实用新型]管式炉管定位加工装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种生产辅件工装，具体为一种管式炉管定位装置，主要应用于半导体、功率器件、集成电路等行业中管式系统的加热装置的生产中。 

背景技术

   太阳能资源丰富，分布广泛，随着全球能源短缺和环境污染等问题日益突出，太阳能光伏发电因其清洁、安全、便利、高效等特点，已成为世界各国普遍关注和重点发展的新兴产业。在此背景下，近几年太阳能光伏产业增长迅速，产业规模不断扩大。对于光伏设备生产线中的扩散炉、等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）等关键设备需求量将会持续稳定地增长。 

随着半导体材料技术的发展，对硅片的规格和质量也提出更高的要求，适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。目前，硅片主流产品是200mm，逐渐向300mm过渡，研制水平达到400mm～450mm。目前在中国管式PECVD占据着市场的主流，板式系统较少，而管式PECVD使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积，所以管式系统的加热装置在光伏产业市场是较大的，也将在一定的时间内占据市场主流。 

实用新型内容

针对等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）等设备中使用的管式系统的加热装置的加工问题，本实用新型旨在提供一种管式炉管定位装置，该定位装置通过其保证炉管生产中的直线度、圆度，同时缩短工艺过程，达到提升生产效率与提高产品质量的目的。 

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是： 

一种管式炉管定位装置，其结构特点是，包括两个法兰，在两个法兰之间设有支撑盘，所述两个法兰和支撑盘通过连接杆连接一起；所述法兰、支撑盘和连接杆之间具有容纳管式炉的空间。

进一步地，所述法兰、支撑盘具有中心孔，且法兰中心孔和支撑盘中心孔同轴线。

本实用新型所述的连接杆为三根。 

藉由上述结构，法兰，连接杆及支撑盘三者组合成一整体形成一个密绕时的工装形态。 

本实用新型的法兰孔位置与连接杆外形尺寸相配合，通过其相关联尺寸保证加热体的内径要求，同时利用支撑盘的作用保持整体的刚性及形成整体的圆柱面。 

本实用新型必须保证法兰、连接杆和支撑盘之间的快捷装配性与易拆卸性，在保证设计要求的同时在装置上一次完成加热体的加工，减免后续加工，提升加工效率。 

本实用新型的技术原理是，在密绕的加热炉丝中穿入炉管定位装置，将两端连接法兰盘与连接杆进行装配，并在连接杆中心位置装入支撑盘，利用三点确定面的原理在锁紧后达到加热体内径的尺寸要求；同时利用支撑杆与支撑盘产生的刚性效果保证加热体整体的圆度与直线度要求，保证产品的质量要求。 

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：采用本炉管定位加工装置，一能有效保证设计要求的炉丝内径尺寸，保证炉丝在绝缘仔串丝穿成后整体电热体的圆度与真线度；二能在完成加工绝缘仔穿丝后免电热体校圆、减免穿丝杆在均匀分布要求上的整形工作，从而缩短工步，提高了加工效率。 

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步阐述。

附图说明

图1、图2是本实用新型一种实施例的结构示意图 

在附图中：

1-法兰       2-连接杆；     3-支撑盘。                   

具体实施方式

以下结合附图说明本实用新型的实施方式 

一种管式炉管定位装置，如图1和2所示，包括两个法兰1，在两个法兰1之间设有支撑盘3，所述两个法兰1和支撑盘3通过三根连接杆2连接一起；所述法兰1、支撑盘3和连接杆2之间具有容纳管式炉的空间。所述法兰1、支撑盘3具有中心孔，且法兰1中心孔和支撑盘3中心孔同轴线。

在管式系统加热装置的前期加热体的加工中，首先以一件两端连续接法兰与连接杆用标准件进行随意装配，完成后将连接杆穿入密绕的加热丝中，将另一件两端连接法兰与连接杆装配好并紧固好，同时在定连接杆中心位置装入支撑盘，保证管式炉管定位工装成形。 

炉管定位工装成形后，将一端加热丝用相同尺寸的绝缘仔利用连接杆上的螺孔压紧，将加热丝整形至与工装完全贴合并保持大致的间距，在尾端再用绝缘仔固定好。利用支撑杆三等分的位置根据设计要求再进行相应的绝缘仔的串丝穿成，保证第根穿丝杆的直线度；全部完成后在定位工装进行加热体的紧固（穿丝杆的均匀坚固），然后下架按前面所述装配部骤完成拆除，进入下一道工序。 

上述实施例阐明的内容应当理解为这些实施例仅用于更清楚地说明本实用新型，而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。