[实用新型]用于空气压缩机的供气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种用于空气压缩机的供气装置。

背景技术

目前，在半导体生产过程中，在很多场合需要使用干燥气体作为干燥剂。半导体所使用压缩空气为干燥气体，并且干燥气体对晶圆的生产非常关键。

请参考图1，在现有技术中，用来为机台供应压缩空气的设备是空气压缩机200，所述空气压缩机200包括压缩单元（未图示）、油箱210、油泵220和油呼吸器230，所述油呼吸器230设置于油箱210外。油呼吸器230的目的是去除润滑过程中产生的油雾，确保油箱210内的压力和油泵220的正常运行，从而保证空气压缩机200的安全稳定，保证生产机台的正常工作。

所述空气压缩机为机台供应的压缩气体是由进气管路101提供的，然后经过压缩机200的压缩单元压缩后经由供气管路102流经干燥塔300，经干燥塔300干燥处理后，经由出气管路103提供给机台（如图1中粗箭头所示方向）。此外，经过压缩机200的压缩单元压缩后的空气还需要经由支路110提供给油呼吸器230，以便油呼吸器230保持油箱210的正压，去除油箱210内的油雾，防止油雾含水汽导致润滑油乳化，确保油泵220的正常工作，然而，由于直接经由支路110为油呼吸器230供气（如图1中箭头细箭头所示方向），使得该空气未经过干燥塔300，因而为油呼吸器提供的空气中含水量过高（通常含水量高达3.1g/Kg左右）。一方面，这将造成油箱210内的润滑油中含水量过高，从而使润滑油压力过低，造成空气压缩机停机，进而间接造成与空气压缩机连接的机台报警停机，影响正常的运行及生产。另一方面，一旦润滑油中含水量过高，使得润滑油容易被乳化，从而失去润滑的功能，发生此类情况，需要立即清除已经被乳化的润滑油，更换新的润滑油，导致增加维修成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出的一种用于空气压缩机的供气装置，以降低为油呼吸器供气的空气中水分的含量。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种用于空气压缩机的供气装置，包括：

进气管路，其一端连接一供气源，其另一端与所述压缩单元连接；

供气管路，其一端与所述压缩单元连接，其另一端与一干燥塔连接；

出气管路，其一端与所述干燥塔连接，其另一端与一机台连接；

支管路，其一端与所述出气管路连接，其另一端与所述油呼吸器连接。

进一步的，还包括设置于所述支管路上的电磁阀门以及控制所述电磁阀门关断的PLC。

进一步的，还包括设置于所述支管路上的减压调节阀。

进一步的，还包括设置于所述支管路上的压力表。

进一步的，还包括设置于所述支管路上的多个维护手阀。

进一步的，所述维护手阀的数量为三个。

进一步的，还包括设置于所述支管路上的多个快速接头。

进一步的，所述快速接头的数量为两个。

进一步的，还包括设置于所述支管路上的空气检查试镜。

进一步的，所述支管路的管径为1/8或3/8或7/8英寸。

进一步的，所述支管路的材质为聚丙烯。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在：进气管路的气体经由压缩单元到供气管路，再经过干燥塔干燥后传输到出气管路，由出气管路的支管路为空气压缩机的油呼吸器提供气体，使得为油呼吸器提供空气是经过干燥塔干燥处理的，减少了该空气中的含水量，不仅防止润滑油含水量过高导致润滑油压力过低，造成空气压缩机停机，而且还防止润滑油的乳化问题，从而增加了润滑油的润滑性能，进一步的，降低了设备维护的成本。

附图说明

图1为现有技术中用于空气压缩机的供气装置结构示意图；

图2为本实用新型中用于空气压缩机的供气装置结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解，下面结合具体实施例对本实用新型进行详细的描述。

请参考图2，在本实施例提出一种用于空气压缩机的供气装置，所述空气压缩机200包括压缩单元（图中未示出）、油箱220以及设置于油箱外的油呼吸器230，所述供气装置包括：

进气管路101，其一端连接一供气源（图中未示出），其另一端与所述空气压缩机200的压缩单元连接；

供气管路102，其一端与所述空气压缩机200的压缩单元连接，其另一端与一干燥塔300连接；

出气管路103，其一端与所述干燥塔300连接，其另一端与一机台连接；