[实用新型]显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，包括：

反应腔室；

基座，固定在所述反应腔室内底部；

电子卡盘，下表面固定在所述基座的顶部；

显影喷嘴，悬空固定于所述电子卡盘的上空；

显影管路，由所述反应腔室外伸入，并与所述显影喷嘴相连接；

气吹喷嘴，悬空固定于所述电子卡盘的中心正上空；

气体管路，由所述反应腔室外伸入，并与所述气吹喷嘴相连接。

2.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，还包括一位于所述基座底部并固定支撑所述基座的固定撑，所述固定撑通过一体成型的方式固定在所述反应腔室内底部。

3.如权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述基座的底部通过螺丝与所述固定撑相固定。

4.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述基座具有带动所述电子卡盘旋转的马达。

5.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述电子卡盘通过卡槽和螺丝固定在所述基座的顶部。

6.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影喷嘴连接所述显影管路的一端还与一第一活动部件的一端相连接。

7.如权利要求1或6所述的显影装置，其特征在于，所述第一活动部件的另一端通过转轴连接在所述反应腔室内侧壁上。

8.如权利要求6所述的显影装置，其特征在于，所述显影喷嘴通过螺丝与所述第一活动部件相连接。

9.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影管路通过一体成型方式与所述显影喷嘴相连接。

10.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气吹喷嘴通过螺纹与所述显影喷嘴相固定。

11.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气吹喷嘴连接气体管路的一端还与一第二活动部件的一端相连接。

12.如权利要求1或11所述的显影装置，其特征在于，所述第二活动部件另一端通过转轴连接在所述反应腔室的内侧壁上。

13.如权利要求1或11所述的显影装置，其特征在于，所述气吹喷嘴与所述第二活动部件通过螺纹连接在一起。

14.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气吹喷嘴为一圆柱形管喷嘴。

15.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气吹喷嘴的材质为不锈钢或聚四氟乙烯等。

16.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气吹喷嘴的孔径为2mm~8mm。

17.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气体管路通过一体成型的方式与所述气吹喷嘴相连接。