[实用新型]高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统

权利要求书

1.一种高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统，其特征是：它包括有能够检测并显示CO2激光器功率数据的功率系统、能够对CO2激光器的调镜板位置进行调节动作的执行系统、能够通过驱动电路对执行系统进行控制的驱动系统、能够接收功率系统的检测数据并向执行系统输出执行指令的控制系统。

2.根据权利要求1所述的高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统，其特征是：所述功率系统包括有功率计。

3.根据权利要求1所述的高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统，其特征是：所述执行系统包括CO2激光器光腔内调镜板上的微位移器。

4.根据权利要求1所述的高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统，其特征是：所述驱动系统包括驱动执行系统中微位移器的驱动电路。

5.根据权利要求1所述的高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统，其特征是：所述控制系统包括单片机。

6.根据权利要求3所述的高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统，其特征是：所述调镜板为矩形板，矩形板一对对角位置各装有一个微位移器，微位移器分别通过精密丝杆控制调镜板上的输出镜板绕纵轴和横轴转动。

7.根据权利要求6所述的高功率横流CO2激光器光腔精密调节系统，其特征是：所述微位移器由步进电机或伺服电机或压电陶瓷驱动。