[实用新型]用于掩膜板的防尘保护装置有效
| 申请号： | 201220520653.9 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202794839U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 覃柳莎;张力群 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/62 | 分类号： | G03F1/62;G03F1/64 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 掩膜板 防尘 保护装置 | ||
1.一种用于掩膜板的防尘保护装置，所述掩膜板具有图案区域，所述用于掩膜板的防尘保护装置包括保护薄膜以及用于固定所述保护薄膜的框架，所述保护薄膜和所述框架限定的空间覆盖所述图案区域，其特征在于，所述框架包括多个首尾相连的长条状边框，其中至少一个边框开设有至少一个凹槽。
2.如权利要求1所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述边框沿其长度方向开设有一个凹槽。
3.如权利要求2所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述凹槽位于所述边框靠近所述图案区域的侧面上或远离所述图案区域的侧面上。
4.如权利要求1所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述边框沿其长度方向开设有多个凹槽。
5.如权利要求4所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述凹槽数目为两个。
6.如权利要求5所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述两个凹槽分别对称的位于所述边框靠近所述图案区域的侧面上和远离所述图案区域的侧面上。
7.如权利要求5所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述凹槽分别位于所述边框靠近所述图案区域的侧面上和所述远离图案区域的侧面上，其中一个凹槽在另一凹槽上方。
8.如权利要求1至7中任一项所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述凹槽形状为长方体。
9.如权利要求1至7中任一项所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述凹槽形状为半圆柱体。
10.如权利要求1至7中任一项所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述边框的材质为金属、合金、高分子材料复合物中的任意一种。
11.如权利要求10所述的用于掩膜板的防尘保护装置，其特征在于，所述边框的材质为铝合金。
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