[实用新型]离子源灯丝安装装置

权利要求书

1.一种离子源灯丝安装装置，包括：

一阴极体，提供一侧设有开口的腔室；

一阴极棒，一端由开口伸入所述阴极体腔室内并固定在与所述开口相对的腔室侧壁上，另一端位于腔室外并沿远离开口的方向延伸；

一离子源灯丝，一端由开口伸入所述阴极体腔室内，并与所述阴极体和所述阴极棒均保持一定间隙；

第一固定部件，固定所述离子源灯丝的另一端；

第二固定部件，固定所述阴极棒位于腔室外的一端；

其特征在于，还包括：

一定位模具，一端由开口伸入所述阴极体腔室内并延伸至与所述开口相对的腔室侧壁和所述离子源灯丝之间的间隙中，另一端在腔室外并沿远离所述开口方向延伸。

2.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于：所述阴极棒通过一体成型的方式固定在所述与开口相对的腔室侧壁上。

3.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于：所述阴极棒位于腔室外的一端设有一卡槽。

4.如权利要求3所述离子源灯丝安装装置，其特征在于：所述卡槽深度为0.5mm~2mm，长度为1mm~5mm。

5.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于：还包括一间隙工具，一端滑动顶在所述卡槽之内。

6.如权利要求5所述离子源灯丝安装装置，其特征在于：所述间隙工具的材质为不锈钢。

7.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于：所述离子源灯丝的材质为钨。

8.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述定位模具形状为L型、H型或Z型。

9.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述定位模具包括位于所述开口相对的腔室侧壁和所述离子源灯丝之间间隙中的一脚垫和沿平行于所述阴极棒并且远离所述开口方向延伸出所述腔室外的一手杆，所述脚垫固定连接所述手杆。

10.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述脚垫与所述手杆通过铰链方式固定连接。

11.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述脚垫通过一体成型方式与所述手杆固定连接。

12.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述手杆为一字型、T型或L型。

13.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述手杆的横截面为圆形或多边形。

14.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述脚垫材质为不锈钢。

15.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述定位模具材质为不锈钢。

16.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述手杆与所述阴极棒平行一边的长度大于所述阴极体的腔室深度。

17.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述脚垫沿所述阴极体侧壁延伸的长度为8mm~12mm，沿所述阴极体侧壁至离子源灯丝方向上延伸的厚度为1.3mm~1.5mm。

18.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于：所述第一固定部件和第二固定部件均为夹钳。