[实用新型]高纯超细三氧化钼生产设备

权利要求书

1.一种高纯超细三氧化钼生产设备，包括按生产流程依次设置并连通的三氧化钼升华炉（Ⅰ）、气态三氧化钼冷凝器（Ⅱ）、不锈钢过滤收集器（Ⅲ）和抽真空系统（Ⅳ）；其特征在于：

所述三氧化钼升华炉（Ⅰ）设有PLC可编程序控温系统，炉体（1）设置有保温层和发热元件，在炉体（1）内安装高纯石英管内胆（2），内胆（2）两端与炉体（1）之间通过可拆卸的水冷法兰（4）固定、橡胶密封垫密封，内胆（2）前端的氧源入口（8）设置气体过滤滤芯Ⅰ（6），操作状态下内胆（2）内相配有盛放物料的石英舟（3）；

所述气态三氧化钼冷凝器（Ⅱ）包括冷凝管（7）及设于冷凝管（7）上的骤冷介质入口，冷凝管前端（10）与三氧化钼升华炉内胆出口（9）连通，冷凝管后端（11）与所述不锈钢过滤收集器（14）入口相连通；

所述不锈钢过滤收集器（Ⅲ）设有固态三氧化钼出口（19），不锈钢过滤收集器的管道及容器内表面喷涂有聚四氟乙烯涂层；

所述抽真空系统（Ⅳ）通过真空管道（18）与不锈钢过滤收集器（Ⅲ）连通。 

2.根据权利要求1所述的高纯超细三氧化钼生产设备，其特征在于：所述发热元件为硅碳棒、硅钼棒、电阻丝或者电阻带。

3.根据权利要求1所述的高纯超细三氧化钼生产设备，其特征在于：所述骤冷介质入口设有与大气直接连通的气体过滤滤芯Ⅱ（12），气体过滤滤芯Ⅱ（12）上设有碟阀。

4.根据权利要求1所述的高纯超细三氧化钼生产设备，其特征在于：所述骤冷介质入口设有与深冷氮气源或低温空气源连通的L形弯管，所述L形弯管下部出口朝向不锈钢过滤收集器（Ⅲ）方向。

5.根据权利要求1所述的高纯超细三氧化钼生产设备，其特征在于：所述不锈钢过滤收集器（Ⅲ）的过滤收集器壳体（14）设有水冷夹层。

6.根据权利要求1所述的高纯超细三氧化钼生产设备，其特征在于：所述抽真空系统（Ⅳ）的真空泵（17）设有气体密封。