[实用新型]基于电子天平的硅片自动计片装置

权利要求书

1.基于电子天平的硅片自动计片装置，包括电子天平，所述电子天平包括输入及显示面板（5），电子天平内设有内部信号处理装置（10），其特征在于：所述输入及显示面板（5）上设有数值输入装置（13）、硅片厚度选择及显示装置（14）、硅片规格选择装置（17），硅片尺寸选择装置（15），计量结果显示装置（11），所述计量结果显示装置（11）上设有“重量”显示面板、“片数”显示面板，所述内部信号处理装置根据数值输入装置（13）、硅片厚度选择及显示装置（14）、硅片规格选择装置（17）及硅片尺寸选择装置（15）的输入进行处理并在“重量”显示面板及“片数”显示面板上显示硅片重量及片数计量结果。 

2.根据权利要求1所述的硅片自动计片装置，其特征在于：所述计量结果显示装置（11）上还设有“累计片数”显示面板及“累计次数”显示面板。 

3.根据权利要求2所述的硅片自动计片装置，其特征在于：所述硅片厚度选择及显示装置设有“厚度上线”按键、“厚度下线”按键、“单次最大数”按键，并且对应“厚度上线”按键、“厚度下线”按键、“单次最大数”按键分别设有显示面板。 

4.根据权利要求3所述的硅片自动计片装置，其特征在于：所述硅片规格选择装置包括“圆片”按键、“单参考面”按键、“双参考面”按键及“方片”按键。 

5.根据权利要求4所述的硅片自动计片装置，其特征在于：所述硅片尺寸选择装置包括“3寸”按键、“4寸”按键、“5寸”按键、“6寸”按键。